多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第273页
INS-NXTMWU-4.2S 10. 预防保养 多功能晶圆单元使用说明书 259 10.6.3 更换 PP 单元的真空过滤器 1. 请从模组中拆下多功能晶圆单元。 （ 详细内容请参照 "9.1 卸下方法 "。 ） 2. 拆下多功能晶圆单元的背面盖罩。 （参照 "12.1 拆下盖罩 "。 ） 3. 使用尖头镊子，将 PP 的单元的凸缘上的真空过滤器更换成 新品。 4. 安装多功能晶圆单元的背面盖罩…
10. 预防保养 INS-NXTMWU-4.2S
258 多功能晶圆单元使用说明书
10.6.2 更换晶片往复臂的吸嘴真空过滤器
1. 请打开正面门。
2. 打开右侧面的维修保养门。
3. 扳下控制杆，解除锁定。
4. 拆下吸嘴。
5. 使用尖头镊子，将吸嘴背面的真空过滤器更换成新品。
6. 请按照与拆下时相反步骤，安装吸嘴。
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INS-NXTMWU-4.2S 10. 预防保养
多功能晶圆单元使用说明书 259
10.6.3 更换 PP 单元的真空过滤器
1. 请从模组中拆下多功能晶圆单元。（详细内容请参照 "9.1 卸下方法 "。）
2. 拆下多功能晶圆单元的背面盖罩。（参照 "12.1 拆下盖罩 "。）
3. 使用尖头镊子，将 PP 的单元的凸缘上的真空过滤器更换成新品。
4. 安装多功能晶圆单元的背面盖罩。
5. 将多功能晶圆单元安装到模组中。（详细内容请参照 "9.2 安装方法 "）
10.6.4 清扫 PP 单元的吸嘴吸取面
1. 请打开背面盖罩左侧面的维修保养门。
2. 清扫 PP 单元的凸缘的吸嘴吸取面。使用清洁纸轻轻擦去附着的污垢。
3. 关闭背面盖罩左侧面的维修保养门。
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260 多功能晶圆单元使用说明书
10.6.5 清扫 PP 相机的盖罩玻璃
1. 请打开背面盖罩左侧面的维修保养门。
2. 将清洁纸和棉插入盖罩与光源单元的间隙，擦去光源单元上面的盖罩玻璃的污垢。
3. 关闭背面盖罩左侧面的维修保养门。