多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第305页
INS-NXTMWU-4.2S 10. 预防保养 多功能晶圆单元使用说明书 291 10.11.5 清扫防静电装置 操作面板下方的显示灯 （橙色） 亮灯时， 或者显示灯 （绿色） 熄灯时， 请清扫放电针单元。 备注 )从维修保养盖罩的窗口也 能够确认防静电装置的 显示灯。防 静电装置的显示灯从上 开 始依次是电源显示 （绿色） 、放电显示 （绿色） 、检查显示 （橙色）和错误显示 （红 色） 。检查显示灯或者错误显示灯亮灯时，请清扫放电…
10. 预防保养 INS-NXTMWU-4.2S
290 多功能晶圆单元使用说明书
10.11.4 向升降部齿轮加油
存在升降部的上升或下降动作过重时，请进行加油作业。
备注 )FUJI 润滑油枪套件的润滑油枪 1 次喷射的吐出量约 0.6cc。请作为加油量的参考。
1. 从模组中卸下多功能晶圆单元。（详细内容参照 "9.1 卸下方法 "。）
2. 拆下多功能晶圆单元的侧面盖罩 （右侧下方和左侧下方）、正面盖罩。（详细内容参照
"12.1 拆下盖罩 "。）
3. 用干净的布擦去升降部齿轮的污垢。
4. 将 0.92cc 的 Daphne Eponex No.2 倒在刷子上。
5. 使用刷子，在升降部齿轮处涂敷润滑油。
6. 解除多功能晶圆单元下部前侧的锁定杆 （2 处）。左方向转动控制杆，解除锁定。
7. 松开多功能晶圆单元下部中央的紧固环 （2 处）。松开 2 个固定螺栓。
8. 安装手柄。
9. 转动手柄数次，使润滑油循环。
10.用干净的布擦去溢出的多余的润滑油。
11.将多功能晶圆单元安装到模组中。（详细内容参照 "4.4 调整多功能晶圆单元的高度和
倾斜 "。）
润滑油 加油处 加油量 (cc)
Daphne Eponex No.2 ( 出光 ) 升降部齿轮 0.92
01NST-0710b
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多功能晶圆单元使用说明书 291
10.11.5 清扫防静电装置
操作面板下方的显示灯（橙色）亮灯时，或者显示灯（绿色）熄灯时，请清扫放电针单元。
备注 )从维修保养盖罩的窗口也能够确认防静电装置的显示灯。防静电装置的显示灯从上开
始依次是电源显示 （绿色）、放电显示 （绿色）、检查显示 （橙色）和错误显示 （红
色）。检查显示灯或者错误显示灯亮灯时，请清扫放电针单元。
1. 请将主电源开关设置为 OFF。
2. 拆下螺丝，卸下左侧面的维修保养盖罩。
3. 将六角扳手插入放电针单元的底面，转动放电针单元将其拆下。
4. 用浸有酒精的棉棒等，擦去放电针单元的放电针及其周围的污垢。
5. 将六角扳手插入放电针单元的底面，与拆下放电针单元时相反方向转动扳手，安装放电
针单元。
备注 )以 0.3Nm 以下的旋紧力矩安装放电针单元。
6. 安装左侧面的维修保养盖罩。
01NST-1321Sb
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