多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第153页

INS-NXTMWU-4.2S 6. 生产多功能晶圆单元使用说明书 139 6.5 指定参考晶片补充晶圆时，需要指定参考晶片。在多功能晶圆单元中安装晶圆托架，按下 SUPPL Y COPLT 按钮后，显示参考晶片指定画面。 6.5.1 参考晶片指定画面 6.5.2 指定参考晶片 1. 请按下其中一个按钮。

6. 生产

NS-NXTMWU-4.2S

138 多功能晶圆单元使用说明书

10.请拿住捏手，抬起托架挡块。

11.请关闭正面门。

备注 )请轻轻地关闭正面门，以免多功能晶圆单元受到冲击。

12.请按下画面上的 SUPPLY COPLT 按钮。

备注 )之后，多功能晶圆单元进行晶圆托架的高度测定。如果高度没有异常，显示参考晶片

指定画面。请进行参考晶片指定。（参照 "6.5 指定参考晶片 "。）

如果完成了参考晶片的指定，则完成晶圆的补充。

01NST-0659S

01NST-0653

INS-NXTMWU-4.2S 6. 生产

多功能晶圆单元使用说明书 139

6.5 指定参考晶片

补充晶圆时，需要指定参考晶片。在多功能晶圆单元中安装晶圆托架，按下 SUPPLY COPLT

按钮后，显示参考晶片指定画面。

6.5.1 参考晶片指定画面

6.5.2 指定参考晶片

1. 请按下其中一个按钮。

6. 生产

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2. 请调整参考晶片的位置。

a. 如果要通过晶圆图表修正参考位置时，请进行以下的操作。

·请按下上下左右的滚动按钮，移动到想要指定的晶片的位置，然后点击对象晶

片。

备注 )被点击的晶片变成新的参考晶片。

·按下 Reference Check 按钮。相机移动到所指定的位置进行影像处理。

b. 如果要在实时影像上调整参考晶片的位置时，请进行以下的操作。

·请按下上下左右的滚动按钮，调整参考晶片的位置。

·请按下 Reference Check 按钮。相机移动到所指定的位置进行影像处理。

备注 )影像处理没有 OK 时，按下强制 Reference OK 按钮。此时，将现在位置作为读取位置，

并且补正量变成 0。

Reference Check

Reference OK