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INS-NXTMWU-4.2S 3. 传感器配置图多功能晶圆单元使用说明书 9 3. 传感器配置图以下说明多功能晶圆单元中所使用的各种传感器的配置和 I/ O （输入输出信号）显示的读法。注意 )根据机器的状态，如果进行 I/O 的输出操作，机器有可能损坏。输出操作请在本公司和代理店售后服务人员的指示下进行。 3.1 I/O 的确认方法确认传感器的 I/O （输入输出信号）时，需要软件工具 [Equipment Che…

2. 各部分的名称和功能 INS-NXTMWU-4.2S

8 多功能晶圆单元使用说明书

2.2 吸嘴置放台

使用多功能晶圆单元时，需要对应多功能晶圆单元的吸嘴置放台。请将符合贴装工作头的对

应多功能晶圆单元的吸嘴置放台安装在吸嘴更换器上使用。

<ND32D>

01NST-0692S

<NK12A>

<NCGWA>

INS-NXTMWU-4.2S 3. 传感器配置图

多功能晶圆单元使用说明书 9

3. 传感器配置图

以下说明多功能晶圆单元中所使用的各种传感器的配置和 I/O （输入输出信号）显示的读

法。

注意 )根据机器的状态，如果进行 I/O 的输出操作，机器有可能损坏。输出操作请在本公司

和代理店售后服务人员的指示下进行。

3.1 I/O 的确认方法

确认传感器的 I/O（输入输出信号）时，需要软件工具 [Equipment Check]。启动 [Equipment

Check] 后就会显示以下的画面，请选择单元进行 I/O 的确认。

备注 )关于 [Equipment Check] 的详细说明，请参照 [NXT II 系统手册 ] 的 [NXT-2 软件工具

] 的 [Equipment Check]。

在以下的插图和表格中，表示传感器（图中号码）和地址的关系。

01NST-2014E

3. 传感器配置图

NS-NXTMWU-4.2S

10 多功能晶圆单元使用说明书

3.2 安全门和空气压、真空压

输入信号

图中号码地址信号名

1 DX001 料盘箱门关闭确认

2 DX002 排出门关闭确认

3 DX003 吸嘴更换器门关闭确认

4 DX008 空气压确认

5 DX009 真空压确认

6 DX00A 紧急停止 SW

7 NX002 真空泵压力正常

NX004 吸取确认参考时压力正常

8 NX00A 控制 BKT 风扇旋转正常

01NST-0699d