多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第295页
INS-NXTMWU-4.2S 10. 预防保养 多功能晶圆单元使用说明书 281 〈晶片往复臂〉 1. 拆下多功能晶圆单元右侧的侧面盖罩。 （详 细内容参照 "12.1 拆下盖罩 "。 ） 2. 请测定皮带张力。确认跨度最长的皮带的 中央位置的测定值时是否在规定值 内。 3. 如果测定值超出规定值，请调整皮带张力 。拆下多功能晶圆单元的正面盖罩 （中央 部） 。 （详细内容参照 "12.1 拆下盖罩 &q…
10. 预防保养 INS-NXTMWU-4.2S
280 多功能晶圆单元使用说明书
8. 如果测定值超出规定值，请调整皮带张力。松开张力滑轮的固定螺栓和锁定螺母，然后
转动调整螺栓进行调整。
9. 请旋紧张力滑轮的固定螺栓和锁定螺母。
10.再次测定测定皮带张力，确认是否在规定值内。
11.安装背面盖罩。
12.将多功能晶圆单元安装到模组上。（详细内容参照 "9.2 安装方法 "。）
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INS-NXTMWU-4.2S 10. 预防保养
多功能晶圆单元使用说明书 281
〈晶片往复臂〉
1. 拆下多功能晶圆单元右侧的侧面盖罩。（详细内容参照 "12.1 拆下盖罩 "。）
2. 请测定皮带张力。确认跨度最长的皮带的中央位置的测定值时是否在规定值内。
3. 如果测定值超出规定值，请调整皮带张力。拆下多功能晶圆单元的正面盖罩 （中央
部）。（详细内容参照 "12.1 拆下盖罩 "。）
4. 松开马达支架的固定螺栓和锁定螺母，然后转动调整螺栓进行调整。
5. 请旋紧张力滑轮的固定螺栓和锁定螺母。
6. 再次测定测定皮带张力，确认是否在规定值内。
7. 安装右侧盖罩。
皮带张力 规定值 (Hz)
SY 轴 （ 265.3 ～ 277.3
