多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第204页
7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S 190 多功能晶圆单元使用说明书 在数字键盘上进行指定时 1 . 按 下 坐 标 显 示 栏 的X或Y按 钮 ， 显 示 数 字 键 盘 。 备注 )如果被按下的按钮是 X 按钮，则 X 的输入为有效。 2. 请将模板图表的坐标输入到数字键盘中。 按下 Enter 按钮后，所输入的数值就会 被决 定。 3. 请指定 Range 1 和 Range2 双方的 XY 坐标。所指定的范围以橙色显示。…
INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线
多功能晶圆单元使用说明书 189
2. 请在图表影像中点击要指定的范围的对角上的晶片。
备注 )想要移动显示中的影像时，请按下上下左右的滚动按钮。切换滚动量后，移动速度就
会以 2 个等级发生变化。
备注 )再次按下基点的晶片后，指定就会被解除。
备注 )在数字键盘上也能够输入指定范围的坐标。详细内容请参照下一页。
3. 按下 Block Set 按钮，决定所指定的范围。此时，指定范围的颜色变成粉色。
备注 )如果要取消指定，请按下 Block Clear 按钮。
4. 完成所有的指定后，请按下 Complete 按钮。画面返回到模板图表设定的菜单。
注意 )之后，如果不按下菜单画面的 Complete 按钮，所设定的数值不会被反映。
01NST-1021S
01NST-1022
Complete
Block Set
Block Clear
7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S
190 多功能晶圆单元使用说明书
在数字键盘上进行指定时
1. 按下坐标显示栏的X或Y按钮，显示数字键盘。
备注 )如果被按下的按钮是 X 按钮，则 X 的输入为有效。
2. 请将模板图表的坐标输入到数字键盘中。按下 Enter 按钮后，所输入的数值就会被决
定。
3. 请指定 Range 1 和 Range2 双方的 XY 坐标。所指定的范围以橙色显示。
4. 按下 Block Set 按钮，决定所指定的范围。此时，指定范围的颜色变成粉色。
5. 完成所有的指定后，请按下 Complete 按钮。画面返回到模板图表设定的菜单。
注意 )之后，如果不按下菜单画面的 Complete 按钮，所设定的数值不会被反映。
INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线
多功能晶圆单元使用说明书 191
根据个别指定的模板图表设定
1. 点击图表影像后，就会显示图表影像。使用图表的放大按钮、滚动按钮，移动到想要指
定的晶片。
备注 )按下 CANCEL 按钮后，画面返回到晶圆示教画面。
2. 按下图表影像上的晶片后，就会作为跳过晶片被指定。被指定的晶片变成粉色。
备注 )每按一下影像上的晶片，就会在指定和解除之间切换。
备注 )想要移动显示中的影像时，请按下上下左右的滚动按钮。切换滚动量后，移动速度就
会以 2 个等级发生变化。
3. 完成所有的指定后，请按下 Complete 按钮。画面返回到模板图表设定的菜单。
注意 )之后，如果不按下菜单画面的 Complete 按钮，所设定的数值不会被反映。
CANCEL
Complete