多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第170页

7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S 156 多功能晶圆单元使用说明书 7. 请按下画面上的 OK 按钮。 8. 显示晶圆图表指定画面。请指定晶圆图表 。 （"7.3.3 晶圆图表的指定 "） 。 备注 )该操作只是在 Job 中设定了使用晶圆图表时才需要。 9. 在向导画面上显示了以下示意图的时候， 通过按下箭头按钮，显示各自的指 定画面。必 要时请指定。 a. 右箭头按钮：指定跳过晶片 （参照 "…

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4. 从要补充元件的料槽中拔出晶圆托架。如果没有晶圆托架，则不需要该作业。
5. 将晶圆安装到晶圆托架上。
备注 )根据晶圆托架的运用，安装方法也不同。请参照 "7.3.5 晶圆托架的运用 "。
6. 将晶圆托架安装到料盘箱的对象料槽上。
注意 )在将晶圆托架安装到料盘箱内的时候，请放到最里面，并且不要受到冲击。
备注 )想要改变补充料槽的顺序时，请通过触摸屏的箭头键 （上下）变更料槽。
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7. 请按下画面上的 OK 按钮。
8. 显示晶圆图表指定画面。请指定晶圆图表。（"7.3.3 晶圆图表的指定 "）。
备注 )该操作只是在 Job 中设定了使用晶圆图表时才需要。
9. 在向导画面上显示了以下示意图的时候，通过按下箭头按钮，显示各自的指定画面。必
要时请指定。
a. 右箭头按钮：指定跳过晶片 （参照 "7.5 指定跳过晶片 "。）
b. 左箭头按钮：指定吸取方向 （指定吸取开始点）
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10.请拿住捏手，抬起托架挡块。
11.请关闭正面门。
备注 )请轻轻地关闭正面门，以免多功能晶圆单元受到冲击。
12.请按下画面上的 SUPPLY COPLT 按钮。
13.多功能晶圆单元进行晶圆托架的高度测定。如果高度没有异常，显示参考晶片指定画
面。请进行参考晶片指定。
备注 )关于参考晶片指定画面上的详细操作，请参照 "6.5 指定参考晶片 "。
至此，完成晶圆的补充。
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