多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第237页
INS-NXTMWU-4.2S 8. 手动模式指令 多功能晶圆单元使用说明书 223 8.5 测试指令 在进行晶片元件的影像获取、 吸取测试、 顶起销的位置调整和切割宽 度设定时使用的指令。 执行该指令后，就会显示测试指 令菜单画面。 8.5.1 如何显示菜单画面 1. 在 START 等待状态下按下 MANUAL 按钮，显示手 动指令。 2. 请按下测试指令图标。 3. 显示测试指令菜单。请按下要执行的指令 。 备注 )选择 CANC…
8. 手动模式指令 INS-NXTMWU-4.2S
222 多功能晶圆单元使用说明书
8.4 信息指令
执行该指令后，就会显示多功能晶圆单元的信息。
8.4.1 如何显示信息画面
1. 在 START 等待状态下按下 MANUAL 按钮，显示手动指令。
2. 请按下信息图标。
3. 显示多功能晶圆单元的信息。
备注 )选择 CANCEL 图标后，就会返回到菜单画面。
所显示的信息
MWU 的类型
MWU 的序列号
MWU 的软件版本
MWU的IP地址
01NST-1379
01NST-1380
INS-NXTMWU-4.2S 8. 手动模式指令
多功能晶圆单元使用说明书 223
8.5 测试指令
在进行晶片元件的影像获取、吸取测试、顶起销的位置调整和切割宽度设定时使用的指令。
执行该指令后，就会显示测试指令菜单画面。
8.5.1 如何显示菜单画面
1. 在 START 等待状态下按下 MANUAL 按钮，显示手动指令。
2. 请按下测试指令图标。
3. 显示测试指令菜单。请按下要执行的指令。
备注 )选择 CANCEL 图标后，就会返回到菜单画面。
01NST-1381
01NST-1382S
CANCEL
8. 手动模式指令 INS-NXTMWU-4.2S
224 多功能晶圆单元使用说明书
8.5.2 影像获取
执行该指令后，多功能晶圆单元就会显示晶片的影像。通过手动操作，能够进行晶片位置调
整后的影像获取。
1. 请按下影像获取指令。
备注 )如果没有完成自动校正，就会显示错误画面。请将画面返回到生产模式，执行校正。
2. 显示料槽选择画面。通过箭头按钮选择进行吸取测试的被安装了晶圆的料槽。
01NST-1383
01NST-1494