多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第32页
3. 传感器配置图 I NS-NXTMWU-4.2S 18 多功能晶圆单元使用说明书 输出信号 3.5 PP 吸嘴更换器 图中号码 地址 信号名 14 NY010 吸 取工作头 1 元件吸取 15 NY011 吸 取工作头 2 元件吸取 16 NY012 吸 取工作头 3 元件吸取 17 NY013 吸 取工作头 4 元件吸取 18 NY014 吸 取工作头 1 元件真空破坏 19 NY015 吸 取工作头 2 元件真空破坏 20 NY…
INS-NXTMWU-4.2S 3. 传感器配置图
多功能晶圆单元使用说明书 17
3.4 PP 单元
输入信号
图中号码 地址 信号名
1 NX010 吸取工作头 1 有元件确认 （交付前）
NX026 吸取工作头 1 有元件确认 （交付后）
2 NX011 吸取工作头 2 有元件确认 （交付前）
NX027 吸取工作头 2 有元件确认 （交付后）
3 NX012 吸取工作头 3 有元件确认 （交付前）
NX028 吸取工作头 3 有元件确认 （交付后）
4 NX013 吸取工作头 4 有元件确认 （交付前）
NX029 吸取工作头 4 有元件确认 （交付后）
5 NX014 吸取工作头有吸嘴确认 （流量传感器）
6 NX031 吸取工作头 1 上升端
7 NX032 吸取工作头 1 下降端
8 NX033 吸取工作头 2 上升端
9 NX034 吸取工作头 2 下降端
10 NX035 吸取工作头 3 上升端
11 NX036 吸取工作头 3 下降端
12 NX037 吸取工作头 4 上升端
13 NX038 吸取工作头 4 下降端
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3. 传感器配置图
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NS-NXTMWU-4.2S
18 多功能晶圆单元使用说明书
输出信号
3.5 PP 吸嘴更换器
图中号码 地址 信号名
14 NY010 吸取工作头 1 元件吸取
15 NY011 吸取工作头 2 元件吸取
16 NY012 吸取工作头 3 元件吸取
17 NY013 吸取工作头 4 元件吸取
18 NY014 吸取工作头 1 元件真空破坏
19 NY015 吸取工作头 2 元件真空破坏
20 NY016 吸取工作头 3 元件真空破坏
21 NY017 吸取工作头 4 元件真空破坏
22 NY01C 吸取工作头 1 吸嘴吸取
23 NY01D 吸取工作头 2 吸嘴吸取
24 NY01E 吸取工作头 3 吸嘴吸取
25 NY01F 吸取工作头 4 吸嘴吸取
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INS-NXTMWU-4.2S 3. 传感器配置图
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输入信号
3.6 往复臂和翻转单元
输入信号
图中号码 地址 信号名
1 NX015 吸取工作头吸嘴确认 （光轴传感器）
2 NX048 吸嘴更换器后退端
3 NX049 吸嘴更换器前进端
4 NX04A 吸嘴更换器挡板打开端
5 NX04B 吸嘴更换器挡板关闭端
6 NX04C 有吸嘴更换器确认
图中号码 地址 信号名
1 NX007 往复臂料盘元件高度监视(上)
2 NX008 往复臂料盘元件高度监视(中)
3 NX009 往复臂料盘元件高度监视(下)
4 NX018 晶片往复臂 1 吸取确认
5 NX019 晶片往复臂 2 吸取确认
6 NX01A 晶片往复臂 3 吸取确认
7 NX01B 晶片往复臂 4 吸取确认
8 NX01C 翻转 1 吸取确认
9 NX01D 翻转 2 吸取确认
10 NX01E 翻转 3 吸取确认
11 NX01F 翻转 4 吸取确认
12 NX024 往复臂夹头打开端
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