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11. 更换损耗品 INS-NXTMWU-4.2S 310 多功能晶圆单元使用说明书 b. 拆下垫圈，安装新的垫圈。 c. 在安装螺丝上涂敷少量的乐泰 24 2，安装垫圈压板。 11.请安装泵汽缸。 12.安装汽缸盖。 13.另一侧的泵汽缸也按照 同样的方法进行新品更换。 14.连接 2 个汽缸盖间的空气管和真空泵的空气管。 15.安装正面盖罩 （下方） 。
INS-NXTMWU-4.2S 11. 更换损耗品
多功能晶圆单元使用说明书 309
9. 更换泵汽缸上的吸气阀和排气阀。
a. 拆下汽缸盖表面上的螺丝，拆下排气阀。
b. 在安装螺丝上涂敷少量的乐泰 242，安装新的排气阀和排气阀压板。
c. 拆下汽缸盖背面上的螺丝，拆下吸气阀。
d. 在安装螺丝上涂敷少量的乐泰 242，安装新的吸气阀和平垫圈。
注意 )安装时，平垫圈的外圈有圆弧的一面与吸取阀靠在一起。
10.更换垫圈。
a. 请拆下螺丝 （2 个），拆下垫圈压板。
11. 更换损耗品 INS-NXTMWU-4.2S
310 多功能晶圆单元使用说明书
b. 拆下垫圈，安装新的垫圈。
c. 在安装螺丝上涂敷少量的乐泰 242，安装垫圈压板。
11.请安装泵汽缸。
12.安装汽缸盖。
13.另一侧的泵汽缸也按照同样的方法进行新品更换。
14.连接 2 个汽缸盖间的空气管和真空泵的空气管。
15.安装正面盖罩 （下方）。
INS-NXTMWU-4.2S 12. 更换部件
多功能晶圆单元使用说明书 311
12. 更换部件
12.1 拆下盖罩
12.1.1 盖罩构成部件
1. 正面门 7. 侧面盖罩 （右侧下方）
2. 背面盖罩 8. 操作面板盖罩
3. 正面盖罩 （下方） 9. 侧面盖罩 （左侧后方）
4. 正面盖罩 （中央） 10. 侧面盖罩 （左侧下方）
5. 侧面盖罩 （右侧后方） 11. 侧面盖罩 （左侧）
6. 侧面盖罩 （右侧）
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