多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第226页

7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S 212 多功能晶圆单元使用说明书 7.12 安装吸嘴 如果需要安装吸嘴, 在校正后显示吸嘴的安装向导。 请根据向导在多功能晶圆单元中安装吸 嘴。 7.12.1 吸嘴安装向导画面 吸嘴安装向导被显示在模组侧的 操作面板上。 备注 )如果生产所需的吸嘴不在吸嘴 置放台内, 这些吸嘴类型就会被显示在向 导画面上。 请 将所需的吸嘴补充到吸嘴置放台内。

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多功能晶圆单元使用说明书 211
7.11.3 指定吸取开始点
将料盘元件安装到多功能晶圆单元中的时候通过在操作画面上设定最初吸取的元件的位
置坐标,能够指定料盘元件的吸取开始点。
1. 在补充向导画面被显示的状态下,请按下箭头键 (向右)
2. 显示吸取点指定画面。请设定 X、Y 的吸取点。通过箭头键改变 X、Y 的数值。
· 设定栏的 X、Y 的初始值为现状的吸取点
3. 定结束后,请按下 OK (NEXT) 按钮。
·如果副料槽 2 中安装着料盘时,显示副料槽 2 的吸取开始点指定画面。
·如果没有副料槽 2,或者副料槽 2 已经设定结束,则返回到料盘元件补充向导画
面。
备注 )按下 CANCEL 后,设定就会被取消。
01NST-0673S
01NST-1030S
7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S
212 多功能晶圆单元使用说明书
7.12 安装吸嘴
如果需要安装吸嘴,在校正后显示吸嘴的安装向导。请根据向导在多功能晶圆单元中安装吸
嘴。
7.12.1 吸嘴安装向导画面
吸嘴安装向导被显示在模组侧的操作面板上。
备注 )如果生产所需的吸嘴不在吸嘴置放台内,这些吸嘴类型就会被显示在向导画面上。
将所需的吸嘴补充到吸嘴置放台内。
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多功能晶圆单元使用说明书 213
7.12.2 吸嘴的安装步骤
1. 请打开侧面的盖罩。
2. 拆下吸嘴置放台。放下控制杆提起吸嘴置放台。
3. 请滑动平板,安装所需的吸嘴。