多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第242页
8. 手动模式指令 INS-NXTMWU-4.2S 228 多功能晶圆单元使用说明书 8.5.3 吸取测试 对于没有生产实绩的晶片，如果 不调整以下的设定，有可能无法吸 取。 ·顶起销的顶起高度 ·顶起速度 ·晶片吸取时的下降端时间 因此，请进行吸取测试，确认实 际的吸取状态。 1. 请按下吸取测试指令。 备注 )如果没有完成自动校正，就会显示错误画面。请将画面返回到生产模式，执行校正。 2. 显示料槽选择画面。通过箭头按钮选择进 行吸…
INS-NXTMWU-4.2S 8. 手动模式指令
多功能晶圆单元使用说明书 227
b. 往复臂供应模式时
9. 将处理的影像输出到外部的时候，此处请结束指令。另外，如果要变更进行摄像的晶片
或改变快门速度取得影像时，请从 3. 项重新开始。
10.通过辅助软件取得影像。
a. 请从 [Data Acquisition] 的项目中选择 [Image Acquisition]。
b. 请选择模组，然后按下 [Start] 按钮。显示影像列表信息。显示影像列表信息。
c. 按下 [Save] 按钮，取得对象的影像。
备注 )此时，在影像列表中因为被显示了快门速度，建议在文件名中输入快门速度。
至此，完成影像的取得。在按照所取得的影像创建外形数据后，将 Job 传输给机器。
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01NST-1621E
8. 手动模式指令 INS-NXTMWU-4.2S
228 多功能晶圆单元使用说明书
8.5.3 吸取测试
对于没有生产实绩的晶片，如果不调整以下的设定，有可能无法吸取。
·顶起销的顶起高度
·顶起速度
·晶片吸取时的下降端时间
因此，请进行吸取测试，确认实际的吸取状态。
1. 请按下吸取测试指令。
备注 )如果没有完成自动校正，就会显示错误画面。请将画面返回到生产模式，执行校正。
2. 显示料槽选择画面。通过箭头按钮选择进行吸取测试的被安装了晶圆的料槽。
01NST-1389
01NST-1494
INS-NXTMWU-4.2S 8. 手动模式指令
多功能晶圆单元使用说明书 229
3. 请按下 OK 按钮。
4. 显示吸取数据编辑画面。请变更晶片吸取所需的数据。
备注 )关于数值的指定项目，按下项目名后就会显示数字键。请输入数值后按下数字键。
a. Push Up Para Mode：Manual 时
备注 )能够变更顶起动作的设定。
b. Push Up Para Mode：Auto 时
备注 )顶起动作的设定变成 [ColletSpec] 的推荐值。
项目名 值 说明
[Pressure Pin]
Push Up
Parameter Mode
(Auto/Manual) 指定顶起销参数的设定方法
指定了 [Auto] 后，只显示以下的 [Push Up
Wait Time]。
Push Up Wait
Time
(0 ～ 2000) 设定顶起销上升后的停止时间
(单位ms)
Push Up Height (0.0 ～ 1.5) 设定顶起销的晶片顶起高度。
Speed Change
Height
(0.0 ～ ) 设定切换顶起参数的高度。
01NST-1391
[Speed Change Height]
[Speed Change Height]
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