多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第336页
12. 更换部件 INS-NXTMWU-4.2S 322 多功能晶圆单元使用说明书 15.从模组上卸下多功 能晶圆单元，安 装 CPU 箱的 盖罩。 登录固有值 1. 将固有值的备份数据复制到安装了附加软 件的电脑上。 2. 将基座的主电源开关设置为 ON，将模组和多 功能晶圆单元变成开始按钮等待的状 态。 3. 启动辅助软件 。 4. 选择对象模组，点击菜单的 [Calibration]。 5. 从固有值管理菜 单中点击 [P rop…
INS-NXTMWU-4.2S 12. 更换部件
多功能晶圆单元使用说明书 321
12.2.4 更换后的各种设定
在更换了 CPU 箱后，需要进行以下的作业。
a. 安装多功能晶圆单元用应用程序软件。
b. 重新登录固有值。
安装多功能晶圆单元用应用程序软件
1. 请拆除电脑与 NXT-2 基座间的以太网电缆，使用交叉以太网电缆连接电脑与多功能晶圆
单元的 CPU。
2. 将电脑的 IP 地址变更为 “169.254.0.200”。
3. 将 CPU 的钮子开关向上设置。然后接通 CPU 的电源，CPU 以 emergency mode 进行启动。
4. 将基座的主电源开关设置为 ON。
5. 将 NXT-2 软件 CD-ROM 插入 CD-ROM 驱动器内，从资源管理器中打开 CD-ROM。
备注 ) 请使用被安装在机器中的软件的相同版本的 CD-ROM。
6. 启动 [\NXT\Tool] 的 EmergencyInstaller.exe。
7. 点击 [...]，选择以下的 bin 文件。
??\NXT\FujiInstSoft\Fuji\System2\Program\System\MWU.bin
8. 点击 [Install]。安装完成后，显示信息。
9. 点击 [OK]，关闭信息。
10.将基座的主电源开关设置为 OFF。
11.将钮子开关向下返回。
12.拆除电脑与多功能晶圆单元的 CPU 间的交叉以太网电缆，使用原来的以太网电缆连接电
脑与 NXT-2。
13.将电脑的 IP 地址返回到原来的数值。
14.再次将基座的主电源开关设置为 ON，确认多功能晶圆单元进行启动。
注意
错误地选择 bin 文件，安装后，CPU 不会启动。
01SYS-0283S
䪂ᄤᓔ݇
NXTST0005a
12. 更换部件 INS-NXTMWU-4.2S
322 多功能晶圆单元使用说明书
15.从模组上卸下多功能晶圆单元，安装 CPU 箱的盖罩。
登录固有值
1. 将固有值的备份数据复制到安装了附加软件的电脑上。
2. 将基座的主电源开关设置为 ON，将模组和多功能晶圆单元变成开始按钮等待的状态。
3. 启动辅助软件。
4.
选择对象模组，点击菜单的 [Calibration]。
5.
从固有值管理菜单中点击 [Proper data value file registration]。
6. 点击 [Browse] ，选择复制在电脑中的固有值的备份数据。
7. 点击 [OK]。显示 [File name]、[Serial No.]、[MWU type]，确认没有出错。
8. 点击 [Proper data value file registration]。将固有值数据发送到基座。
9. 重新启动多功能晶圆单元。固有值被反映。
01NST-2023E
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