多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第297页

INS-NXTMWU-4.2S 10. 预防保养多功能晶圆单元使用说明书 283 7. 将多功能晶圆单元安装到模组上。（详细内容参照 "9.2 安装方法 "。） EX

10. 预防保养 INS-NXTMWU-4.2S

282 多功能晶圆单元使用说明书

〈顶起单元〉

1. 从模组中卸下多功能晶圆单元。（详细内容参照 "9.1 卸下方法 "。）

2. 将顶起单元移动到便于作业的位置。

3. 请测定皮带张力。确认皮带的中央位置的测定值是否在规定值内。

4. 如果测定值超出规定值，请调整皮带张力。松开各轴的固定螺栓和锁定螺母，然后转动

调整螺栓进行调整。

5. 请旋紧张力滑轮的固定螺栓和锁定螺母。

6. 再次测定测定皮带张力，确认是否在规定值内。

皮带张力规定值 (Hz)

EX 轴 292 ～ 322

EZ 轴 595 ～ 655

INS-NXTMWU-4.2S 10. 预防保养

多功能晶圆单元使用说明书 283

7. 将多功能晶圆单元安装到模组上。（详细内容参照 "9.2 安装方法 "。）

10. 预防保养 INS-NXTMWU-4.2S

284 多功能晶圆单元使用说明书

〈塔部〉

1. 请拆下右侧面盖罩。（详细内容参照 "12.1 拆下盖罩 "。）

2. 请测定皮带张力。确认跨度最长的皮带的中央位置的测定值时是否在规定值内。

3. 如果测定值超出规定值，请调整皮带张力。松开各轴的固定螺栓和锁定螺母，然后转动

调整螺栓进行调整。

4. 请旋紧张力滑轮的固定螺栓和锁定螺母。

5. 再次测定测定皮带张力，确认是否在规定值内。

6. 安装左侧盖罩。

皮带张力规定值 (Hz)

TZ 轴 61.6 ～ 67.6

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