多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第73页
INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装 多功能晶圆单元使用说明书 59 6. 在顶起单元的转位装置 1 号处安装顶起调整治具。 a. 如果在转位装置处安装了顶起筒，请向右 转动控制杆拆下顶起筒。将转位压向 弹簧 侧同时用手转动，拆下所有的顶起 筒。 b. 用手转动转位装置，使得转位装置 1 号在上面。 备注 )转位号码请确认转位部的刻印和贴纸。 c. 在转位装置 1 号处安装顶起调整治具，向右转动控制杆。 备注 )不方便安装治具时，…
4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S
58 多功能晶圆单元使用说明书
4.5.4 测定方法
进行测定的准备
1. 将 MWU 调整工具安装到作业电脑中。复制软件 [MWU Adjustment Tool] 的文件夹，粘贴
到电脑的任意位置。下一步，复制机器附属的固有值备份数据内的
[InspectionTool.ini]，粘贴到 [MWU Adjustment Tool] 的文件夹内。
备注 )虽然 [MWU Adjustment Tool] 的文件夹内存在 [InspectionTool.ini]，但是请覆盖保
存机器附属的 [InspectionTool.ini]。不要变更文件名。
2. 请打开 [MWU Adjustment Tool] 的文件夹内的 [MWU.exe]。MWU 调整工具启动。
3. 通过手动指令，卸下贴装工作头。（详细内容请参照 [NXT II 系统手册僗 ] 的 [ 手动模
式指令 ]。）
4. 将多功能晶圆单元安装到模组上。（详细内容请参照 "9.2 安装方法 "。）
5. 按下模组的紧急停止按钮，打开侧面盖罩。
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INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装
多功能晶圆单元使用说明书 59
6. 在顶起单元的转位装置 1 号处安装顶起调整治具。
a. 如果在转位装置处安装了顶起筒，请向右转动控制杆拆下顶起筒。将转位压向弹簧
侧同时用手转动，拆下所有的顶起筒。
b. 用手转动转位装置，使得转位装置 1 号在上面。
备注 )转位号码请确认转位部的刻印和贴纸。
c. 在转位装置 1 号处安装顶起调整治具，向右转动控制杆。
备注 )不方便安装治具时，请转动 EZ 轴滚珠丝杆，下降顶起 Z 轴部。转动 EZ 轴滚珠丝杆时，
将 2mm 宽度的六角扳手插入滚珠丝杆的前端部，请慢慢地转动，不要用力过度。
7. 将顶起单元移动到往复臂供应位置。顶起 X 轴部的位置是顶起调整治具的中心与导轨面
的距离为 30mm 以上的位置。
注意 )Y 方向移动顶起单元时，首先将顶起 X 轴部移动到中央，然后 Y 方向移动顶起单元。在
顶起 X 轴部处在左右端的状态下，Y 方向移动顶起单元时，单元的一部分有可能碰到壁
面。
01NST-1966
01NST-1967S
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4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S
60 多功能晶圆单元使用说明书
8. 用手将晶片往复臂单元移动到交接位置。
9. 使用与贴装工作头相同的方法，将工作头夹紧治具安装到模组的工作头支架上。另外，
不要进行接插件的连接。（详细内容请参照[NXT II系统手册]的[基本操作]。）
01NST-2004S
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