多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第192页

7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S 178 多功能晶圆单元使用说明书 3. 请按下 START 按钮。备注 )在按下 START 按钮之前，按下箭头按钮（上下）就能够选择料槽。 4. 首先显示行列数设定画面。 01NST -1330 CANCEL NEXT

INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线

多功能晶圆单元使用说明书 177

7.6 晶圆示教

安装了未设定晶圆示教的元件类型后，需要进行下列的设定和确认。

·行列数的设定

·图表影像和实际影像的确认

·模板图表的设定

7.6.1 如何显示晶圆示教画面

1. 在操作面板处在开始等待的状态的时候，请按下 OK 按钮。

2. 显示换线指令菜单。请选择晶圆示教指令。

01NST-1063

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7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S

178 多功能晶圆单元使用说明书

3. 请按下 START 按钮。

备注 )在按下 START 按钮之前，按下箭头按钮（上下）就能够选择料槽。

4. 首先显示行列数设定画面。

01NST-1330

CANCEL NEXT

INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线

多功能晶圆单元使用说明书 179

7.6.2 行列数的设定

如果要变更所安装的晶圆托架的行列数时，请进行设定。

1. 选择行数或者列数后，就会显示数字键盘。

备注 )0 的时候，自动决定行列数。

2. 在数字键盘上输入从晶圆外圈到扁平面的列数。按下 Enter 按钮后，所输入的数值就会

被确定。

3. 完成行列数的设定后，请按下 NEXT 按钮。移动到图表影像和实际影像的确认画面（吸

取开始点）。

备注 )按下 CANCEL 按钮后，就会返回到晶圆示教画面。

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