多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第181页
INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线 多功能晶圆单元使用说明书 167 7.4.2 指定吸取开始点 1. 请使用上下左右的滚动按钮来移动图表影 像，指定吸取开始点。 2. 请使用实时影像的滚动按钮进行微调整 ，使得开始吸取的晶片处在中央。 3. 请对照生产，选择吸取方向。 4. 请 按下 NEXT 按钮。 备注 )如果按下 Back 按钮，则返回到吸取开始点指定画面。 5. 如果需要指定其他料槽的吸取开始点，请 重复之前各项的操作…
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3. 请按下 START 按钮。
备注 )在按下 START 按钮之前，按下箭头按钮 （上下）能够选择料槽。
4. 显示吸取开始点指定画面。
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INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线
多功能晶圆单元使用说明书 167
7.4.2 指定吸取开始点
1. 请使用上下左右的滚动按钮来移动图表影像，指定吸取开始点。
2. 请使用实时影像的滚动按钮进行微调整，使得开始吸取的晶片处在中央。
3. 请对照生产，选择吸取方向。
4. 请按下 NEXT 按钮。
备注 )如果按下 Back 按钮，则返回到吸取开始点指定画面。
5. 如果需要指定其他料槽的吸取开始点，请重复之前各项的操作。
BACK NEXT
BACK NEXT
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7.5 指定跳过晶片
在多功能晶圆单元中安装了晶圆托架后，请指定跳过晶片。
7.5.1 如何显示跳过晶片指定画面
执行晶圆托架的安装向导内所显示的跳过晶片指定的指令，或者通过以下的操作显示跳过
晶片指定画面。
1. 在操作面板处在开始等待的状态的时候，请按下 OK 按钮。
2. 显示换线指令菜单。请选择跳过晶片指定指令。
3. 请按下 OK 按钮。
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