多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第156页
6. 生产 I NS-NXTMWU-4.2S 142 多功能晶圆单元使用说明书 6.5.3 指定吸取开始点 在确认了参考晶片的影像处理后 ，进行吸取开始点的指定。 1. 请使用上下左右的滚动按钮来移动图表影 像，指定吸取开始点。 备注 )中央的红色晶片为吸取开始点。 备注 )此处，如果想要变更已指定的参考晶片时，请移动到参考补救画面。按下 BACK 按钮。 （参照 "6.5.4 关于参考补救 "。 ） 2. 请使用实…
6. 生产
I
NS-NXTMWU-4.2S
142 多功能晶圆单元使用说明书
6.5.3 指定吸取开始点
在确认了参考晶片的影像处理后，进行吸取开始点的指定。
1. 请使用上下左右的滚动按钮来移动图表影像，指定吸取开始点。
备注 )中央的红色晶片为吸取开始点。
备注 )此处，如果想要变更已指定的参考晶片时，请移动到参考补救画面。按下 BACK 按钮。
（参照 "6.5.4 关于参考补救 "。）
2. 请使用实时影像的滚动按钮进行微调整，使得开始吸取的晶片处在中央。
3. 请对照生产，选择吸取方向。
4. 请按下 NEXT 按钮。
·如果完成了所有料槽的参考晶片的指定和吸取开始点的指定以及吸取方向的设
定，就会开始生产。
·如果没有完成所有料槽的这些设定，显示下一个料槽的参考晶片指定画面。
备注 )如果按下 BACK 按钮，则返回到吸取开始点指定画面。
BACK NEXT
BACK NEXT
INS-NXTMWU-4.2S 6. 生产
多功能晶圆单元使用说明书 143
6.5.4 关于参考补救
在吸取开始点指定画面被显示的时候，按下 BACK 按钮后，就会显示参考补救画面。如果想
要变更已指定的参考晶片时，请进行以下的操作。
1. 请选择对象的参考位置，按下 ReferenceCheck 按钮。
备注 )按下 Complete 按钮后，就会返回到吸取开始点指定画面。
2. 显示参考晶片指定画面。请变更参考位置。（参照 "6.5.2 指定参考晶片 "。）
3. 完成参考指定 （补救）后，就会返回到吸取开始点的指定画面。
01NST-1051S
ReferenceCheck Complete
01NST-0668