多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第227页
INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线 多功能晶圆单元使用说明书 213 7.12.2 吸嘴的安装步骤 1. 请打开侧面的盖罩。 2. 拆下吸嘴置放台。放下控制杆提起吸嘴置 放台。 3. 请滑动平板，安装所需的吸嘴。
7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S
212 多功能晶圆单元使用说明书
7.12 安装吸嘴
如果需要安装吸嘴，在校正后显示吸嘴的安装向导。请根据向导在多功能晶圆单元中安装吸
嘴。
7.12.1 吸嘴安装向导画面
吸嘴安装向导被显示在模组侧的操作面板上。
备注 )如果生产所需的吸嘴不在吸嘴置放台内，这些吸嘴类型就会被显示在向导画面上。请
将所需的吸嘴补充到吸嘴置放台内。
INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线
多功能晶圆单元使用说明书 213
7.12.2 吸嘴的安装步骤
1. 请打开侧面的盖罩。
2. 拆下吸嘴置放台。放下控制杆提起吸嘴置放台。
3. 请滑动平板，安装所需的吸嘴。
7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S
214 多功能晶圆单元使用说明书
4. 将吸嘴置放台安装到多功能晶圆单元中。放下控制杆然后安装吸嘴置放台。
5. 请关闭侧面的盖罩。
注意
在放入吸嘴置放台的时候，请注意不要夹着手指。