多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第41页
INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装 多功能晶圆单元使用说明书 27 4.2 安装主电源开关 ON/OFF 单元 在 2M-2 基座上安装多功能晶圆单元后，就变得不能够操 作主电源开关。请安装附属的主电 源开关 ON/O FF 单元。 注意 )根据所安装的主电源开关 ON/OFF 单元，基座的 PCU 和 MCU 用定位孔被占据了。因此， 在更换料站托架或者切换模组时，需要每次拆下主电源开关 ON/OFF 单元。 1. 将基座的主…
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INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装
多功能晶圆单元使用说明书 27
4.2 安装主电源开关 ON/OFF 单元
在 2M-2 基座上安装多功能晶圆单元后，就变得不能够操作主电源开关。请安装附属的主电
源开关 ON/OFF 单元。
注意 )根据所安装的主电源开关 ON/OFF 单元，基座的 PCU 和 MCU 用定位孔被占据了。因此，
在更换料站托架或者切换模组时，需要每次拆下主电源开关 ON/OFF 单元。
1. 将基座的主电源开关设置为 OFF，接着，将电源电缆与外部电源分离。（参照 [NXT II
安装手册 ]。）
2. 请拆下基座的主电源开关下侧的盖罩。
危险
作业前，请确认外部电源被切断，电源电缆中没有电流流动。
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3. 请利用盖罩的安装螺丝孔，使用附属的螺丝和垫圈安装主电源开关 ON/OFF 单元。
4. 转动主电源开关 ON/OFF 单元的旋钮，确认基座的主电源开关准确地动作。
ON/OFF
OFF
ON