多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第293页
INS-NXTMWU-4.2S 10. 预防保养 多功能晶圆单元使用说明书 279 〈托架往复臂） 〉 1. 拆下多功能晶圆单元的侧面盖罩 （右侧和左侧） 。 （详细内容参照 "9.1 卸下方法 "。 ） 2. 请测定皮带张力。确认跨度最长的皮带的 中央位置的测定值时是否在规定值 内。 3. 如果测定值规定值，请调整皮带张力。松 开张力滑轮的固定螺栓和锁定螺母 或安装螺 钉，然后转动调整螺栓进行调整 。 4. 请旋紧…
10. 预防保养 INS-NXTMWU-4.2S
278 多功能晶圆单元使用说明书
10.10.2 皮带张力的点检和调整
确认皮带张力时，请预先准备张力计。拆下多功能晶圆单元。（参照 "9.1 卸下方法 "。）
〈PP 单元〉
1. 请打开背面盖罩左侧面的维修保养门。
2. 请拆下滑轮盖罩。
3. 请测定皮带张力。确认跨度最长的皮带的中央位置的测定值时是否在规定值内。
4. 如果测定值超出规定值，请调整皮带张力。松开张力滑轮的固定螺栓，然后转动调整螺
栓进行调整。
5. 请旋紧张力滑轮的固定螺栓和锁定螺母。
6. 再次测定测定皮带张力，确认是否在规定值内。
7. 安装滑轮盖罩，关闭左侧面门。
皮带张力 规定值 (Hz)
PX 轴 244 ～ 270
INS-NXTMWU-4.2S 10. 预防保养
多功能晶圆单元使用说明书 279
〈托架往复臂）〉
1. 拆下多功能晶圆单元的侧面盖罩 （右侧和左侧）。（详细内容参照 "9.1 卸下方法 "。）
2. 请测定皮带张力。确认跨度最长的皮带的中央位置的测定值时是否在规定值内。
3. 如果测定值规定值，请调整皮带张力。松开张力滑轮的固定螺栓和锁定螺母或安装螺
钉，然后转动调整螺栓进行调整。
4. 请旋紧张力滑轮的固定螺栓和锁定螺母或安装螺钉。
5. 再次测定测定皮带张力，确认是否在规定值内。
6. 拆下多功能晶圆单元的背面盖罩。（详细内容参照 "12.1 拆下盖罩 "。）
7. 请测定 TY 轴皮带张力 （驱动部）。确认跨度最长的皮带的中央位置的测定值时是否在
规定值内。
皮带张力 规定值 (Hz)
TY 轴 （往复臂部） 47.7 ～ 51.7
TY 轴 （驱动部） 334.5 ～ 368.5
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10. 预防保养 INS-NXTMWU-4.2S
280 多功能晶圆单元使用说明书
8. 如果测定值超出规定值，请调整皮带张力。松开张力滑轮的固定螺栓和锁定螺母，然后
转动调整螺栓进行调整。
9. 请旋紧张力滑轮的固定螺栓和锁定螺母。
10.再次测定测定皮带张力，确认是否在规定值内。
11.安装背面盖罩。
12.将多功能晶圆单元安装到模组上。（详细内容参照 "9.2 安装方法 "。）
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