多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第106页
5. Job 的设定和编辑 INS-NXTMWU-4.2S 92 多功能晶圆单元使用说明书 c. 在 [Head Type ] 中选择要使用 的贴装工作头。 d. 在 [Nozzle Changer Type] 中选择要使用的吸嘴置放台。 e. 选 择 [Machine Co nfiguration] 窗口 下方的 [Ge neral] 标签页。 f. 选 择 [Machine Co nfiguration] 窗口 下方的 [Fe ed…
INS-NXTMWU-4.2S 5. Job 的设定和编辑
多功能晶圆单元使用说明书 91
5.5 机器构成数据
这里，进行模组的平台类型、多功能晶圆单元的顶起销、PP 吸嘴和往复臂衬垫等的设定。
1. 请选择 Job 信息栏的 [Top] 或 [Bottom] 标签页，双击生产名、机器名和
[Configuration]。打开 [Machine Configuration] 窗口。
2. 选择 [Machine Configuration] 窗口下方的 [Module] 标签页。
3. 点击想要搭载多功能晶圆单元的模组的按钮。
4. 接着，按照向导方式设定模组的各单元。
a. 在 [Module Type] 中选择 [M6-2SP]。
b. 在 [Stage Type] 中选择平台类型 ([MWU8i])。
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5. Job 的设定和编辑 INS-NXTMWU-4.2S
92 多功能晶圆单元使用说明书
c. 在 [Head Type] 中选择要使用的贴装工作头。
d. 在 [Nozzle Changer Type] 中选择要使用的吸嘴置放台。
e. 选择 [Machine Configuration] 窗口下方的 [General] 标签页。
f. 选择 [Machine Configuration] 窗口下方的 [Feeder Setup] 标签页。
显示晶圆供应单元的信息窗口。
5. 选择 [Collet Setup] 标签页。设定要安装在多功能晶圆单元中的顶起销 (Collet) 数
据。
备注 )显示的顶起销 (Collet) 的号码被标注在多功能晶圆单元的顶起销支架上。
备注 )想要通过优化器自动选择时，请将 [Configuration]-[General]-[Wafer]-[Optimize
Collet] 设定为 [Yes]。
贴装工作头 能够使用的吸嘴置放台
H12HS ND32D （多功能晶圆单元用）
G04 NK12A
H01/H02 NCGWA （多功能晶圆单元用） 7 个装
项目名 值 说明
[Wafer]
Optimize Collet (Yes/No) 指定是否以优化方式自动设定顶起销
(Collet) 数据。
Optimize PP Nozzle
Changer
(Yes/No) 指定是否以优化方式自动配置 PP 吸嘴。
Optimize Shuttle Pad (Yes/No) 指定是否以优化方式自动配置往复臂衬
垫。(*)
(*) 通常生产时，不需要另外选择往复臂衬垫。使用标准配置进行生产。
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多功能晶圆单元使用说明书 93
6. 选择 [PP Nozzle Changer Setup] 标签页。设定要配置在多功能晶圆单元的吸嘴置放台
内的 PP 吸嘴名。
备注 )显示的吸嘴号码 (No.) 是面向装置 (MWU) 从左到右被分配的号码。另外，被刻在吸嘴
置放台上，请确认。
备注 )想要通过优化器自动选择时，请将 [Configuration]-[General]-[Wafer]-[Optimize
PP Nozzle Changer] 设定为 [Yes]。
7. 选择 [Shuttle Pad Setup] 标签页。设定要安装在多晶圆单元的往复臂上的往复臂衬垫
名。
备注 )显示的通道 (Lane) 号码是面向装置 (MWU) 从左到右被分配的号码。
备注 )想要通过优化器自动选择时，请将 [Configuration]-[General]-[Wafer]-[Optimize
Shuttle Pad] 设定为 [Yes]。
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