多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第77页
INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装 多功能晶圆单元使用说明书 63 2. 在 [Equipment Check] 的 I /O 监视器中将安 全继电器设置为 ON。 备注 )关于 [Equipment Check] 的详细内容， 请参照 [NXT II 系统手册 ] 的 [NNXT-2 软件工具 ]。 a. 启 动 [Equipment C heck]。 b. 在 [Select Mo dule] 框内选择进 行作业的模组。 c…
4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S
62 多功能晶圆单元使用说明书
11.在 Z0 高度治具的上面安装千分表，将刻度调整到 0。
a. 请清扫 Z0 高度治具和下图的治具设置场所。并且将 Z0 高度治具放置在模组内的设
置场所。
注意 )请注意 Z0 高度治具不要落入模组的孔内。另外，在设置了 Z0 高度治具的状态下，请
不要将顶起单元移动到直接供应位置。
b. 用手移动 NXT-2 的 XY 轴，将千分表靠住 Z0 高度治具的高的一面，将刻度调整为 0。
注意 )用手移动 XY 轴时，请握住框架部。请不要握住工作头夹紧治具进行移动。
c. 用手移动 NXT-2 的 XY 轴，拆下 Z0 高度治具。
12.用手将 NXT-2的Y轴移动到内侧位置，并且使得直接供应位置的顶起调整治具在X轴方
向移动也不会碰到千分表。（以后，将该位置称为退避位置。）
注意 )用手移动 XY 轴时，请握住框架部。请不要握住工作头夹紧治具进行移动。
13.关闭侧面盖罩，解除紧急停止按钮。
进行吸取高度修正测定
1. 开始测定之前，请确认以下事项。
a. 顶起单元从往复臂供应位置移动到直接供应位置，顶起 X 轴部移动到左右，顶起 Z
轴部移动到上下。确认在顶起单元的可动范围内没有千分表或治具等。
b. 确认顶起调整治具中心离开侧面的导轨面 30mm 以上。
c. 确认盖罩和门已经关闭，紧急停止按钮被解除了。
01NST-1973
INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装
多功能晶圆单元使用说明书 63
2. 在 [Equipment Check] 的 I/O 监视器中将安全继电器设置为 ON。
备注 )关于[Equipment Check]的详细内容，请参照[NXT II系统手册]的[NNXT-2软件工具]。
a. 启动 [Equipment Check]。
b. 在 [Select Module] 框内选择进行作业的模组。
c. 在 [Menu] 框内选择 [I/O Monitor]-[Module]-[CPU]。显示 I/O 监视器。
d. 选择输出信号的 [MASTER ON]，点击 [ON 或 OFF]。
e. 选择输出信号的 [MACHINE READY OK]，点击 [ON 或 OFF]，变成 ON 的状态。下一步，
再次点击 [ON 或 OFF]，将 [MACHINE READY OK] 变成 OFF 的状态。
f. 确认输入信号的 [SAFETY RELAY OK] 是否变成 ON 的状态。
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4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S
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3. 启动 MWU 调整工具，切换到测定画面。
a. 打开 [MWU.exe]。显示 MENU 画面。
b. 在 [Connect IP Address] 中输入要安装多功能晶圆单元的基座的 IP 地址。确认
[M1(P)] 中选择了复选框。
c. 点击 [Connection check] 指令，确认显示了 [OK]。
d. 在 I/O 监视器中确认模组的 [SAFETY RELAY OK] 变成了 ON，点击 [Wake] 指令。
e. 点击 [Pickup offset measurement] 指令。显示吸取高度修正测定画面。
4. 固定顶起 X 轴部和顶起 Z 轴部，将顶起单元移动到直接供应位置。
a. 选择 [EX]、[EZ] 的复位侧的复选框。EX 轴、EZ 轴被固定。
b. 点击 [Robot Cylinder forward] 指令。顶起单元移动到直接供应位置。
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01NST-2006E