多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第34页
3. 传感器配置图 I NS-NXTMWU-4.2S 20 多功能晶圆单元使用说明书 输出信号 13 NX025 往复臂 夹头关闭端 14 NX02E 往 复臂后退端 15 NX044 翻 转上升端 16 NX045 翻 转下降端 17 NX046 翻 转交付位置 18 NX047 翻 转接收位置 19 NX04F 废 弃刷上升端 20 NX030 废 弃箱安装确认 21 DX008 空 气压确认 22 DX009 真 空压确认 图中号…
INS-NXTMWU-4.2S 3. 传感器配置图
多功能晶圆单元使用说明书 19
输入信号
3.6 往复臂和翻转单元
输入信号
图中号码 地址 信号名
1 NX015 吸取工作头吸嘴确认 （光轴传感器）
2 NX048 吸嘴更换器后退端
3 NX049 吸嘴更换器前进端
4 NX04A 吸嘴更换器挡板打开端
5 NX04B 吸嘴更换器挡板关闭端
6 NX04C 有吸嘴更换器确认
图中号码 地址 信号名
1 NX007 往复臂料盘元件高度监视(上)
2 NX008 往复臂料盘元件高度监视(中)
3 NX009 往复臂料盘元件高度监视(下)
4 NX018 晶片往复臂 1 吸取确认
5 NX019 晶片往复臂 2 吸取确认
6 NX01A 晶片往复臂 3 吸取确认
7 NX01B 晶片往复臂 4 吸取确认
8 NX01C 翻转 1 吸取确认
9 NX01D 翻转 2 吸取确认
10 NX01E 翻转 3 吸取确认
11 NX01F 翻转 4 吸取确认
12 NX024 往复臂夹头打开端
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3. 传感器配置图
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NS-NXTMWU-4.2S
20 多功能晶圆单元使用说明书
输出信号
13 NX025 往复臂夹头关闭端
14 NX02E 往复臂后退端
15 NX044 翻转上升端
16 NX045 翻转下降端
17 NX046 翻转交付位置
18 NX047 翻转接收位置
19 NX04F 废弃刷上升端
20 NX030 废弃箱安装确认
21 DX008 空气压确认
22 DX009 真空压确认
图中号码 地址 信号名
1 NY036 晶片往复臂 1 吸取
2 NY037 晶片往复臂 2 吸取
3 NY038 晶片往复臂 3 吸取
4 NY039 晶片往复臂 4 吸取
5 NY03A 晶片往复臂 1 真空破坏
6 NY03B 晶片往复臂 2 真空破坏
7 NY03C 晶片往复臂 3 真空破坏
8 NY03C 晶片往复臂 4 真空破坏
图中号码 地址 信号名
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INS-NXTMWU-4.2S 3. 传感器配置图
多功能晶圆单元使用说明书 21
3.7 顶起单元
输入信号
9 NY040 翻转 1 吸取
10 NY041 翻转 2 吸取
11 NY042 翻转 3 吸取
12 NY043 翻转 4 吸取
13 NY044 翻转 1 真空破坏
14 NY045 翻转 2 真空破坏
15 NY046 翻转 3 真空破坏
16 NY047 翻转 4 真空破坏
图中号码 地址 信号名
图中号码 地址 信号名
1 NX02F 顶起料带吸取确认 （直接搬运）
NX03F 顶起料带吸取确认 （往复臂搬运）
2 NX039 顶起销驱动汽缸后退端
3 NX03A 顶起销确认 BIT 1
4 NX03B 顶起销确认 BIT 2
5 NX03C 顶起销切换确认
6 NX03D 顶起销驱动汽缸前进端
7 NX04D 顶起 Y 轴机械手汽缸前进端
8 NX04E 顶起 Y 轴机械手汽缸后退端
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