多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第110页
5. Job 的设定和编辑 INS-NXTMWU-4.2S 96 多功能晶圆单元使用说明书 3. 选择对象晶片。 a. 按 下从 [Product Die] 到 [Re fDie4] 的任意 一个按钮。 b. 必要时，能够变更快门速度。 （1 msec 单位） 4. 请 选择 START 按钮。 5. 显示晶片的影像。请按下滚动按钮，使十 字线 （相机中心）对准晶片的中心。 备注 )[Reference Pos] 只是在参考晶片为对象时…
INS-NXTMWU-4.2S 5. Job 的设定和编辑
多功能晶圆单元使用说明书 95
5. 显示多功能晶圆单元的操作向导。
6. 对象模组和多功能晶圆单元的操作换面切换到各自的测试模式。
执行影像处理测试
1. 请使用箭头按钮，选择进行影像处理的安装了晶圆的料槽。
2. 按下 OK 按钮。
01NST-1644E
01NST-1391
5. Job 的设定和编辑 INS-NXTMWU-4.2S
96 多功能晶圆单元使用说明书
3. 选择对象晶片。
a. 按下从 [Product Die] 到 [RefDie4] 的任意一个按钮。
b. 必要时，能够变更快门速度。（1 msec 单位）
4. 请选择 START 按钮。
5. 显示晶片的影像。请按下滚动按钮，使十字线 （相机中心）对准晶片的中心。
备注 )[Reference Pos] 只是在参考晶片为对象时显示。
01NST-1495
01NST-1496
01NST-1497
Reference Pos
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多功能晶圆单元使用说明书 97
6. 按下 NEXT 按钮。
备注 )按下 [BACK] 按钮后，就会返回到 3 项的画面。另外，按下 [CANCEL] 按钮后，则返回
到 2 项的画面。
7. 显示影像处理的结果。
a. 直接供应模式时
备注 )多功能晶圆单元侧的监视器没有结果的显示。
b. 往复臂供应模式时
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CANCEL BACK
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