多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第258页
9. 多功能晶圆单元的卸下和安装 INS-NXTMWU-4.2S 244 多功能晶圆单元使用说明书 9.2.2 安装方法 1. 请接通模组的电源。 2. 将多功能晶圆单元配置在模组的前面。 3. 将多功能晶圆单元的前轮调整到下图的方 向。 4. 请确认多功能晶圆单元的滚轮与料站基座 的槽的高度一致。 备注 )多功能晶圆单元的滚轮与 料站基座的槽的高度不 一致时，请 进行多功能晶圆单元的 高 度调整。详细内容请参照 "4.4 调…
INS-NXTMWU-4.2S 9. 多功能晶圆单元的卸下和安装
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9.2 安装方法
将多功能晶圆单元安装重新安装到模组上时，请按照此处记载的方法进行作业。
备注 )将多功能晶圆单元安装到其他的模组上时，需要进行调整。详细内容请参照 "4.4 调整
多功能晶圆单元的高度和倾斜 "。
9.2.1 安装前的确认
将多功能晶圆单元安装到模组中时，请预先确认以下的事项。如果不进行确认，将多功能晶
圆单元安装到模组中，单元之间有可能冲突。
a. PP 单元必须在中央或左端。
b. PP 吸嘴更换器必须在退避位置。
c. PP 吸嘴更换器的挡板开闭用汽缸必须在挡板关闭侧。
d. 晶片往复臂必须在维修保养位置。
e. 翻转单元的翻转部必须在交付位置。
f. 顶起单元的 EX 轴必须在中央附近。
g. 顶起单元的 EZ 轴必须在下降端。
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b
c
d
e
f
g
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5. 将多功能晶圆单元慢慢地插入到模组内。多功能晶圆单元被自动夹紧。
6. 请确认多功能晶圆单元的前轮是否处在步骤 3 中调整的方向。如果方向错误，请暂时卸
下多功能晶圆单元，再次调整前轮的方向，然后插入到模组中。（多功能晶圆单元的卸
下方法请参照 "9.1 卸下方法 "。
警告
在将多功能晶圆单元推入机器内的时候，请确认多功能晶圆单元与基座之
间没有别的作业人员。否则，身体有可能被夹在多功能晶圆单元与基座之
间，造成伤亡。
注意
将多功能晶圆单元安装到模组中或者从模组中卸下时，请小心地进行避免
受到冲击。否则有可能损坏机器。
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