多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第68页
4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S 54 多功能晶圆单元使用说明书 14.确认晶圆供应部 4 点的顶起调整治具 的高度在公差值以内。公差值如下所示。 ·直接供应位置的左右测定值之 差必须在 0.3mm 以内。 ·相对于直接供应位置的左右测定值的中间值，往复臂供应位置的左右测定值必须 在 ±0.25mm 以内 15.如果测定值在公差值以内，则调 整完成。如果测定值超出了公差值，请解除调整部的锁 定，将多功能晶圆单元夹紧到模组 上，…
INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装
多功能晶圆单元使用说明书 53
d. 拉出多功能晶圆单元，直到多功能晶圆单元的料站托架部的端面与模组端面在同一
位置。（请参照步骤 5。）
注意 )如果多功能晶圆单元的滚轮部脱离了料站基座，请从 " 将多功能晶圆单元夹紧到模组
上。" 开始重新调整。
e. 紧固各脚轮内侧的固定螺栓 （各 2 个）。
f. 夹紧多功能晶圆单元。（参照步骤 5。）
g. 用手确认轮子转动。不转动时，请再次调整。
11.确认前侧脚轮和中间脚轮全部着地。
12.拆下塔基座部的水平仪。
13.从模组上卸下多功能晶圆单元，确认再次安装后的倾斜测定值的正确性。
a. 松开多功能晶圆单元，从模组上完全拉出多功能晶圆单元。（松开方法请参照步骤
5。）
b. 注意前侧脚轮笔直向前，同时将多功能晶圆单元慢慢地插入模组内。
c. 夹紧多功能晶圆单元。（请参照步骤 5。）
01NST-1984S
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4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S
54 多功能晶圆单元使用说明书
14.确认晶圆供应部 4 点的顶起调整治具的高度在公差值以内。公差值如下所示。
·直接供应位置的左右测定值之差必须在 0.3mm 以内。
·相对于直接供应位置的左右测定值的中间值，往复臂供应位置的左右测定值必须
在 ±0.25mm 以内
15.如果测定值在公差值以内，则调整完成。如果测定值超出了公差值，请解除调整部的锁
定，将多功能晶圆单元夹紧到模组上，从步骤 1 开始重新调整。
复原模组和多功能晶圆单元
1. 从模组上卸下多功能晶圆单元。（松开方法请参照 " 进行多功能晶圆单元的高度和倾斜
调整"的步骤5。）
2. 从多功能晶圆单元上拆下顶起调整治具和高度调整手柄。
3. 安装多功能晶圆单元的背面盖罩、正面盖罩 （下方）、侧面盖罩 （右侧下方、左侧下
方）。（详细内容请参照 "12.1 拆下盖罩 "。）
4. 从模组上拆下千分表、磁性平台和工作头夹紧治具。
5. 关闭模组的正面盖罩。
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INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装
多功能晶圆单元使用说明书 55
6. 安装多功能晶圆单元用废料带滑槽。
7. 将多功能晶圆单元用的废料带箱座放入基座内，安装废料带箱。
备注 )废料带箱部安装了传感器。如果废料带箱座没有完全安装在基座内，废料带处理单元
就不会动作。
8. 安装模组前侧下方的盖罩。
9. 安装模组侧面盖罩。（详细内容请参照[NXT II系统手册]的[部件的更换]。）
01NST-2001