多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第251页
INS-NXTMWU-4.2S 8. 手动模式指令 多功能晶圆单元使用说明书 237 2. 显示切割宽度测定画面。请决定进行测定 的方向。 a. 按 下 X Cut Width 按钮后，就 会测定 X 方 向的切割宽度。 b. 按 下 Y Cut Width 按钮后，就 会测定 Y 方 向的切割宽度。 备注 )初始设定为 2 个都被选择的状态。 3. 请 按下 START 按钮。 4. 指定第 1 点的测定位置。 a. 按下滚动按钮，使…
8. 手动模式指令 INS-NXTMWU-4.2S
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3. 按下 OK 按钮。
4. 显示设定主画面。
测定切割宽度
1. 在设定主画面上，请按下切割宽度测定按钮。
01NST-1391
01NST-1631
01NST-1632
INS-NXTMWU-4.2S 8. 手动模式指令
多功能晶圆单元使用说明书 237
2. 显示切割宽度测定画面。请决定进行测定的方向。
a. 按下 X Cut Width 按钮后，就会测定 X 方向的切割宽度。
b. 按下 Y Cut Width 按钮后，就会测定 Y 方向的切割宽度。
备注 )初始设定为 2 个都被选择的状态。
3. 请按下 START 按钮。
4. 指定第 1 点的测定位置。
a. 按下滚动按钮，使十字线 （相机中心）对准晶片的轮廓。
b. 按下 NEXT 按钮。
NEXT
8. 手动模式指令 INS-NXTMWU-4.2S
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5. 请指定第 2 点的测定位置。
a. 按下滚动按钮，使十字线 （相机中心）对准晶片的轮廓。
b. 按下 NEXT 按钮。
备注 )如果离开第 1 点的距离超过 1.0 mm，不能够按下 NEXT 按钮。按下 CANCEL 按钮后，就
会返回到 1. 项的画面。
6. 以毫米单位显示测定值。请进行确认。
a. 之后，如果要进行微调整，请按下 X Cut Width/Y Cut Width 按钮。
b. 确定测定值时，请按下 COMPLETE 按钮。数据被更新，并返回到 2. 项的画面。
NEXTBACKCANCEL
COMPLETECANCEL