多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第28页
3. 传感器配置图 I NS-NXTMWU-4.2S 14 多功能晶圆单元使用说明书 输出信号 图中号码 地址 信号名 6 NY024 矫正推杆前进 7 NY025 托架下部交付打开 8 NY026 托架下部交付关闭 9 NY027 往复臂夹头夹紧 10 NY02C PP 工作头落下防止制动器松开 11 NY02D 顶起销驱动 ON 12 NY03F 废弃刷下降 13 NY048 翻转上升 14 NY049 翻转下降 15 NY04A …
INS-NXTMWU-4.2S 3. 传感器配置图
多功能晶圆单元使用说明书 13
输入信号
图中号码 地址 信号名
1 NX007 往复臂料盘元件高度监视 ( 上 )
2 NX008 往复臂料盘元件高度监视 ( 中 )
3 NX009 往复臂料盘元件高度监视 ( 下 )
4 OPTOD 料盘高度测定 1 （左）
5 OPTOE 料盘高度测定 2 （右）
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3. 传感器配置图
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NS-NXTMWU-4.2S
14 多功能晶圆单元使用说明书
输出信号
图中号码 地址 信号名
6 NY024 矫正推杆前进
7 NY025 托架下部交付打开
8 NY026 托架下部交付关闭
9 NY027 往复臂夹头夹紧
10 NY02C PP 工作头落下防止制动器松开
11 NY02D 顶起销驱动 ON
12 NY03F 废弃刷下降
13 NY048 翻转上升
14 NY049 翻转下降
15 NY04A 翻转接受
16 NY04B 翻转交付
17 NY04C 吸嘴更换器前进
18 NY04D 吸嘴更换器后退
19 NY04E 吸嘴更换器挡板打开
20 NY04F 吸嘴更换器挡板关闭
INS-NXTMWU-4.2S 3. 传感器配置图
多功能晶圆单元使用说明书 15
输入信号
输出信号
图中号码 地址 信号名
1 NX005 除静电装置 1 正常
NX006 除静电装置 1 检查
图中号码 地址 信号名
2 NY001 除静电装置吹气
1 NY004 除静电装置 1 复位
NY005 除静电装置 1 放电停止
3 NY018 吸取工作头 1 下降
4 NY019 吸取工作头 2 下降
5 NY01A 吸取工作头 3 下降
6 NY01B 吸取工作头 4 下降
7 NY020 料盘箱托架夹紧解除
8 NY022 供应部托架夹紧解除
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