多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第33页
INS-NXTMWU-4.2S 3. 传感器配置图 多功能晶圆单元使用说明书 19 输入信号 3.6 往复臂和翻转单元 输入信号 图中号码 地址 信号名 1 NX015 吸取工 作头吸嘴确认 （光轴传感器） 2 NX048 吸嘴更 换器后退端 3 NX049 吸嘴更 换器前进端 4 NX04A 吸嘴更 换器挡板打开端 5 NX04B 吸嘴更 换器挡板关闭端 6 NX04C 有吸嘴 更换器确认 图中号码 地址 信号名 1 NX007 往复…
3. 传感器配置图
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18 多功能晶圆单元使用说明书
输出信号
3.5 PP 吸嘴更换器
图中号码 地址 信号名
14 NY010 吸取工作头 1 元件吸取
15 NY011 吸取工作头 2 元件吸取
16 NY012 吸取工作头 3 元件吸取
17 NY013 吸取工作头 4 元件吸取
18 NY014 吸取工作头 1 元件真空破坏
19 NY015 吸取工作头 2 元件真空破坏
20 NY016 吸取工作头 3 元件真空破坏
21 NY017 吸取工作头 4 元件真空破坏
22 NY01C 吸取工作头 1 吸嘴吸取
23 NY01D 吸取工作头 2 吸嘴吸取
24 NY01E 吸取工作头 3 吸嘴吸取
25 NY01F 吸取工作头 4 吸嘴吸取
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INS-NXTMWU-4.2S 3. 传感器配置图
多功能晶圆单元使用说明书 19
输入信号
3.6 往复臂和翻转单元
输入信号
图中号码 地址 信号名
1 NX015 吸取工作头吸嘴确认 （光轴传感器）
2 NX048 吸嘴更换器后退端
3 NX049 吸嘴更换器前进端
4 NX04A 吸嘴更换器挡板打开端
5 NX04B 吸嘴更换器挡板关闭端
6 NX04C 有吸嘴更换器确认
图中号码 地址 信号名
1 NX007 往复臂料盘元件高度监视(上)
2 NX008 往复臂料盘元件高度监视(中)
3 NX009 往复臂料盘元件高度监视(下)
4 NX018 晶片往复臂 1 吸取确认
5 NX019 晶片往复臂 2 吸取确认
6 NX01A 晶片往复臂 3 吸取确认
7 NX01B 晶片往复臂 4 吸取确认
8 NX01C 翻转 1 吸取确认
9 NX01D 翻转 2 吸取确认
10 NX01E 翻转 3 吸取确认
11 NX01F 翻转 4 吸取确认
12 NX024 往复臂夹头打开端
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3. 传感器配置图
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输出信号
13 NX025 往复臂夹头关闭端
14 NX02E 往复臂后退端
15 NX044 翻转上升端
16 NX045 翻转下降端
17 NX046 翻转交付位置
18 NX047 翻转接收位置
19 NX04F 废弃刷上升端
20 NX030 废弃箱安装确认
21 DX008 空气压确认
22 DX009 真空压确认
图中号码 地址 信号名
1 NY036 晶片往复臂 1 吸取
2 NY037 晶片往复臂 2 吸取
3 NY038 晶片往复臂 3 吸取
4 NY039 晶片往复臂 4 吸取
5 NY03A 晶片往复臂 1 真空破坏
6 NY03B 晶片往复臂 2 真空破坏
7 NY03C 晶片往复臂 3 真空破坏
8 NY03C 晶片往复臂 4 真空破坏
图中号码 地址 信号名
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