多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第300页
10. 预防保养 INS-NXTMWU-4.2S 286 多功能晶圆单元使用说明书 10.11.2 清扫晶片往复臂的吸嘴 以 150,000 次的吸嘴吸取作为 参考，或者吸取异常时请进行清扫 。 1. 请打开正面门。 2. 打开右侧面的维修保养门。 3. 扳下控制杆，解除锁定。 4. 拆下吸嘴。 5. 使用气枪或工业用酒精，清扫吸嘴的吸取 垫上面。 01NST -1467
INS-NXTMWU-4.2S 10. 预防保养
多功能晶圆单元使用说明书 285
10.11 不定期作业
10.11.1 清扫 PP 单元的吸嘴
以 150,000 次的吸嘴吸取作为参考，或者吸取异常时请进行清扫。
1. 请执行手动指令的吸嘴更换指令。（详细内容请参照 "8.2 单元更换指令 "。）
2. 从多功能晶圆单元上拆下吸嘴更换器，从吸嘴更换器上拆下吸嘴。（详细内容请参照
"7.12.2 吸嘴的安装步骤 "。）
3. 使用气枪向吸嘴的外侧和内侧喷射压缩空气，除去尘埃等。
4. 使用浸有洗净液 （乙醇酒精、异丙醇酒精）的棉棒，轻轻擦拭橡胶部端面 （吸嘴前
端）。
注意 )请不要使用超声波洗净器。浸橡胶部分浸入水或洗净液中，橡胶会老化，影响生产。
5. 使用浸有洗净液 （乙醇酒精、异丙醇酒精）的棉棒，擦去 2D 码表面和法兰盘面的污
垢。使用气枪等除去残留在 2D 码部分的洗净液。
6. 请确认法兰盘面没有压痕、鼓起和飞边。
7. 将吸嘴安装到吸嘴更换器上，将吸嘴更换器上安装到多功能晶圆单元上。（详细内容请
参照 "7.12.2 吸嘴的安装步骤 "。）
01NST-1903S
2Dⷕ
⊩݄Ⲭ䴶
‵㛊䚼
10. 预防保养 INS-NXTMWU-4.2S
286 多功能晶圆单元使用说明书
10.11.2 清扫晶片往复臂的吸嘴
以 150,000 次的吸嘴吸取作为参考，或者吸取异常时请进行清扫。
1. 请打开正面门。
2. 打开右侧面的维修保养门。
3. 扳下控制杆，解除锁定。
4. 拆下吸嘴。
5. 使用气枪或工业用酒精，清扫吸嘴的吸取垫上面。
01NST-1467
INS-NXTMWU-4.2S 10. 预防保养
多功能晶圆单元使用说明书 287
〈关于超声波清洗器的使用〉
使用超声波清洗器清扫吸嘴时，请遵守以下的事项。
· 清洗器：60W 以上，并且是眼镜或贵金属专用的清洗器。
· 清洗液：以乙醇酒精、异丙醇酒精为主要成分的清洗液。
· 清洗时间：15 分钟。
· 粘贴了 2D 码的吸嘴，请不要使用超声波清洗器。只是刻有 2D 激光标记的吸嘴才能够使
用超声波清洗器进行清洗。
· 初次使用清洗器时，请放入 1 ～ 2 个吸嘴进行清洗测试，确认不会影响吸嘴的涂层和吸
取垫部。
· 清洗后，请马上用气枪除去残留的清洗液。另外，请充分确认清洗液的污染程度，不要
使吸嘴受到 2 次污染。