多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第171页

INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线多功能晶圆单元使用说明书 157 10.请拿住捏手，抬起托架挡块。 11.请关闭正面门。备注 )请轻轻地关闭正面门，以免多功能晶圆单元受到冲击。 12.请按下画面上的 SUPPLY COPLT 按钮。 13.多功能晶圆单元进行晶圆托架的高度测定。如果高度没有异常，显示参考晶片指定画面。请进行参考晶片指定。备注 )关于参考晶片指定画面上的详细操作，请参照 "6.5 指定参考…

7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S

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7. 请按下画面上的 OK 按钮。

8. 显示晶圆图表指定画面。请指定晶圆图表。（"7.3.3 晶圆图表的指定 "）。

备注 )该操作只是在 Job 中设定了使用晶圆图表时才需要。

9. 在向导画面上显示了以下示意图的时候，通过按下箭头按钮，显示各自的指定画面。必

要时请指定。

a. 右箭头按钮：指定跳过晶片（参照 "7.5 指定跳过晶片 "。）

b. 左箭头按钮：指定吸取方向（指定吸取开始点）

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INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线

多功能晶圆单元使用说明书 157

10.请拿住捏手，抬起托架挡块。

11.请关闭正面门。

备注 )请轻轻地关闭正面门，以免多功能晶圆单元受到冲击。

12.请按下画面上的 SUPPLY COPLT 按钮。

13.多功能晶圆单元进行晶圆托架的高度测定。如果高度没有异常，显示参考晶片指定画

面。请进行参考晶片指定。

备注 )关于参考晶片指定画面上的详细操作，请参照 "6.5 指定参考晶片 "。

至此，完成晶圆的补充。

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7.3.3 晶圆图表的指定

在 Job 中如果设定了使用晶圆图表，在安装晶圆托架后需要指定晶圆图表。请按照此处列举

的步骤，指定晶圆图表。

另外，指定晶圆图表时，使用条形码读取器时的操作方法和从图表列表中进行选择时的操作

方法不相同。

使用条形码读取器时

1. 安装了晶圆托架后，按下 OK 按钮就会显示晶圆图表指定画面。

2. 请扫描条形码。

3. 显示指定的晶圆图表文件。请按下 OK 按钮。

至此，完成晶圆图表的指定。之后，多功能晶圆单元进行晶圆托架的高度测定。

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