多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第241页
INS-NXTMWU-4.2S 8. 手动模式指令 多功能晶圆单元使用说明书 227 b. 往复臂供应模式时 9. 将处理的影像输出到外部的时候，此处请 结束指令。另外，如果要变更进行 摄像的晶片 或改变快门速度取得影像时，请从 3. 项重新开始 。 10.通过辅助软件取得 影像。 a. 请 从 [Data Acquis ition] 的项目中 选择 [Image Acquisition]。 b. 请选择模组，然后按下 [Start] …
8. 手动模式指令 INS-NXTMWU-4.2S
226 多功能晶圆单元使用说明书
6. 显示晶片的影像。请按下滚动按钮，使十字线 （相机中心）对准晶片的中心。
备注 )[Reference Pos] 只是在参考晶片为对象时显示。
7. 按下 NEXT 按钮。
备注 )按下 [BACK] 按钮后，就会返回到 3 项的画面。另外，按下 [CANCEL] 按钮后，则返回
到 2 项的画面。
8. 显示影像处理的结果。
a. 直接供应模式时
备注 )多功能晶圆单元侧的监视器没有结果的显示。
01NST-1497
Reference Pos
01NST-1498
CANCEL BACK
01NST-1499
INS-NXTMWU-4.2S 8. 手动模式指令
多功能晶圆单元使用说明书 227
b. 往复臂供应模式时
9. 将处理的影像输出到外部的时候，此处请结束指令。另外，如果要变更进行摄像的晶片
或改变快门速度取得影像时，请从 3. 项重新开始。
10.通过辅助软件取得影像。
a. 请从 [Data Acquisition] 的项目中选择 [Image Acquisition]。
b. 请选择模组，然后按下 [Start] 按钮。显示影像列表信息。显示影像列表信息。
c. 按下 [Save] 按钮，取得对象的影像。
备注 )此时，在影像列表中因为被显示了快门速度，建议在文件名中输入快门速度。
至此，完成影像的取得。在按照所取得的影像创建外形数据后，将 Job 传输给机器。
01NST-1500
01NST-1621E
8. 手动模式指令 INS-NXTMWU-4.2S
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8.5.3 吸取测试
对于没有生产实绩的晶片，如果不调整以下的设定，有可能无法吸取。
·顶起销的顶起高度
·顶起速度
·晶片吸取时的下降端时间
因此，请进行吸取测试，确认实际的吸取状态。
1. 请按下吸取测试指令。
备注 )如果没有完成自动校正，就会显示错误画面。请将画面返回到生产模式，执行校正。
2. 显示料槽选择画面。通过箭头按钮选择进行吸取测试的被安装了晶圆的料槽。
01NST-1389
01NST-1494