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10. 预防保养 INS-NXTMWU-4.2S 250 多功能晶圆单元使用说明书 10.2 作业列表 表中的●标记表示清扫作业， ★标记表示加油作业， ■标记表示点检作业， ▲标记表示更换 作业。 表中记载的作业时间因为是参考 时间，所以，可能与实际的作业时 间有所不同。 10.2.1 运转时操作人员进行的作业 *1：每 8 个小时 * 2 ： 每2 4个 小 时 维修保养项目 （●：清扫） 每天 （24H 以内 ） 每周 (160H…
INS-NXTMWU-4.2S 10. 预防保养
多功能晶圆单元使用说明书 249
10.1.4 关于加油
作为加油的方式，存在着向润滑油注入口加油，用刷子直接涂敷到摩擦部位以及通过喷射容
器的加油等方式。关于这些方式的具体加油步骤，按照各机器部位在下一节集中介绍。这
里，说明各部位共通的基本加油步骤。
备注 )关于加油量，使用 FUJI 润滑油枪套件的润滑油枪进行计量。润滑油枪的 1 次喷射的吐
出量约 0.6 cc。请将喷射数作为加油时的参考。请擦去溢出的多余的润滑油。
10.1.5 基本的加油步骤
向润滑油嘴加油
1. 用干净的布擦去滚珠丝杆和 LM 导轨的污垢。
2. 使用 FUJI 润滑油枪套件的润滑油枪，向滚珠丝杆和 LM 导轨的油嘴加入所需喷射次数的
润滑油。
3. 用干净的布擦去润滑油油嘴部、滚珠丝杆和 LM 导轨处溢出的多余的润滑油。
4. 手动动作单元，使润滑油循环。
5. 再次擦去滚珠丝杆和 LM 导轨处溢出的多余的润滑油。
刷子涂敷 （喷射）方式的加油
1. 用干净的布擦去滚珠丝杆和 LM 导轨的污垢。
2. 使用 FUJI 润滑油枪套件的润滑油枪，向刷子喷射所需次数的润滑油，或者直接向滚珠
丝杆和 LM 导轨加油。用刷子均匀地涂敷润滑油。
3. 喷射方式时，直接向加油处喷射。
4. 用干净的布擦去滚珠丝杆和 LM 导轨处溢出的多余的润滑油。
5. 手动动作单元，使润滑油循环。
6. 再次擦去滚珠丝杆和 LM 导轨处溢出的多余的润滑油。
加油时的注意事项
·擦去加油时的润滑油时，请不要使用脏布。否则，成为部件损坏的原因。擦去润
滑油时，请务必使用干净的布。
·请不要给指定位置以外处加油。否则，成为故障等的原因。指定位置以外处附着
了润滑油时，请用干净的布擦去。
·请不要使用非指定的润滑油。否则，成为故障等的原因。
·加油前，请使用干净的布擦去脏的润滑油。
·加油后，请使用干净的布擦去多余的润滑油。
10. 预防保养 INS-NXTMWU-4.2S
250 多功能晶圆单元使用说明书
10.2 作业列表
表中的●标记表示清扫作业，★标记表示加油作业，■标记表示点检作业，▲标记表示更换
作业。
表中记载的作业时间因为是参考时间，所以，可能与实际的作业时间有所不同。
10.2.1 运转时操作人员进行的作业
*1：每 8 个小时
*2：每24个小时
维修保养项目
（●：清扫）
每天
（24H 以内）
每周
(160H)
每月
(700H)
每3个月
(2,000H)
每6个月
(4,000H)
每年
(8,000H)
不定期
作业时间
(分）
废料带箱内的清扫 ●
*1
------1
元件排出箱内的元件回收 ●
*2
------1
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多功能晶圆单元使用说明书 251
10.2.2 维修保养人员进行的作业
维修保养项目
（●：清扫，★：加油，■：点检，▲：更换）
每周
(160H)
每2周
(320H)
每月
(700H)
每3个月
(2,000H)
每6个月
(4,000H)
每年
(8,000H)
每12,000
小时
不定期
作业时间
(分）
料站台 料槽、接插件 ● - - - ----1
PP单元 真空过滤器 --▲-----5
吸嘴吸取面 --▲-----5
PP相机的盖罩玻璃 --●-----5
吸嘴夹紧销 ---▲----20
PP相机的半透半反光镜 -----●--5
PX轴滚珠丝杆 ------★-10
PX轴导轨 ------★-10
PZ轴滚珠丝杆 ------★-10
PX轴皮带张力 ------■-10
吸嘴 -------●
*3
1
托架往复臂 往复臂皮带 - - ●
★
-----5
10
TY轴导轨 ------★-10
托架夹头部导轨 ------★-10
TY轴皮带张力(往复臂部) ------■-10
TY轴皮带张力(驱动部) ------■-10
晶片往复臂吸嘴的真空过滤器 --▲-----5
SY轴导轨 ------★-10
SY轴皮带张力 ------■-10
吸嘴 -------●
*3
1
顶起单元 真空过滤器 --▲-----5
EZ轴滚珠丝杆 --★-----10
顶起筒的凸缘 ----▲---5
EX轴滚珠丝杆 ------★-10
驱动凸轮 ------★-10
EX轴导轨 ------★-10
EY轴导轨 ------★-10
EZ轴导轨 ------★-10
EX轴皮带张力 ------■-10
EZ轴皮带张力 ------■-10
翻转单元 吸嘴的真空过滤器 --▲-----5
翻转部齿轮 ------★-10
吸嘴 -------●
*3
1