多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第149页
INS-NXTMWU-4.2S 6. 生产 多功能晶圆单元使用说明书 135 6.4.2 补充步骤 1. 请打开多功能晶圆单元的正面门。 2. 请确认要补充的料槽。需要补充的料槽的 LE D 会亮灯。另外，对于向导画面中所选择的 料槽，LED 会闪烁。 3. 请拿住捏手，抬起托架挡块。 01INST -0646S 01NST -0648S
6. 生产
I
NS-NXTMWU-4.2S
134 多功能晶圆单元使用说明书
6.4 补充晶圆
运转中当发生料尽时，元件补充向导就会被显示在多功能晶圆单元的画面上。请根据向导，
将元件补充到多功能晶圆单元中。
6.4.1 元件补充向导画面
01NST-0644S
INS-NXTMWU-4.2S 6. 生产
多功能晶圆单元使用说明书 135
6.4.2 补充步骤
1. 请打开多功能晶圆单元的正面门。
2. 请确认要补充的料槽。需要补充的料槽的 LED 会亮灯。另外，对于向导画面中所选择的
料槽，LED 会闪烁。
3. 请拿住捏手，抬起托架挡块。
01INST-0646S
01NST-0648S
6. 生产
I
NS-NXTMWU-4.2S
136 多功能晶圆单元使用说明书
4. 从要补充元件的料槽中拔出晶圆托架。
5. 将晶圆安装在晶圆托架上。
6. 将晶圆托架安装到料盘箱的对象料槽中。
注意 )在将晶圆托架安装到料盘向箱内的时候，请轻轻地插入，以免受到冲击。
备注 )想要改变补充料槽的顺序时，请通过触摸屏的箭头键 （上下）变更料槽。