多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第57页
INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装 多功能晶圆单元使用说明书 43 7. 将基座的主电源开关设置为 ON，接通模组的 电源。 8. 慢慢地将多功能晶圆单元插入模组内。 9. 如果模组、多功能晶圆单元的紧急停止按 钮被按下了，请解除。然后按下模 组操作面板 的 [POWER] 按钮。 备注 )虽然显示 [Safety Door] 的错误，请继续作业。 10.按下模组操作面板 的 [READY O N] 按钮。多功能 晶圆单元被夹紧…
4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S
42 多功能晶圆单元使用说明书
4. 松开多功能晶圆单元下部的中间脚轮 （2 处）的固定螺栓和固定螺母。
5. 使用 5mm 宽度六角扳手 （标准、短型），松开多功能晶圆单元下部的后侧脚轮 （2 处）
的固定螺栓。
备注 )从多功能晶圆单元与模组及基座的间隙，或者基座与地面的间隙将手伸入进行作业。
6. 一边确认被设置在托架往复臂内的水平仪，一边调整 XY 方向的倾斜。调整到水平仪的
气泡处在公差范围内。
·X 方向上，使用前侧脚轮 （2 处）和中间脚轮 （2 处）的调整螺栓，调整倾斜。
备注 )X 方向调整时，左或右的前侧脚轮和中间脚轮的变更量基本上相同，这样容易得到水
平。
·Y 方向上，使用高度调整手柄、前侧脚轮 （2 处）和中间脚轮 （2 处）的调整螺
栓，调整倾斜。
备注 )高度调整手柄在大幅度变更 Y 方向的倾斜时使用，脚轮在进行 Y 方向微调整时使用。Y
方向微调整时，2 个前侧脚轮和 2 个中间脚轮的变更量基本上相同，这样容易得到水平。
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INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装
多功能晶圆单元使用说明书 43
7. 将基座的主电源开关设置为 ON，接通模组的电源。
8. 慢慢地将多功能晶圆单元插入模组内。
9. 如果模组、多功能晶圆单元的紧急停止按钮被按下了，请解除。然后按下模组操作面板
的 [POWER] 按钮。
备注 )虽然显示 [Safety Door] 的错误，请继续作业。
10.按下模组操作面板的 [READY ON] 按钮。多功能晶圆单元被夹紧。
11.请确认连接多功能晶圆单元与料站基座的接插件被完全连接。
12.确认多功能晶圆单元的前轮方向如下图所示，面向正面的状态。如果与下图的状态不
同，请将多功能晶圆单元退回到步骤 3 的位置，调整脚轮的方向重新插入。
注意 )多功能晶圆单元的滚轮部从料站基座上退回后，请进行再次调整。
POWER
READY ON
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EMERGENCY
01NST-0796Sd
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4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S
44 多功能晶圆单元使用说明书
进行高度和倾斜调整的准备
1. 在工作头夹紧治具上安装千分表。
a. 用手将 NXT-2 的 Y 轴从靠住跟前侧挡块的状态向内侧返回 5mm。
注意 )用手移动 XY 轴时，请握住框架部。请不要握住工作头夹紧治具进行移动。
b. 将安装了千分表的磁性平台安装到工作头夹紧治具上。
c. 在顶起单元处在往复臂供应位置的状态下，安装磁性平台，并且使得千分表在顶起
调整治具上面。
备注 )顶起调整治具移动到往复臂供应位置的右侧和左侧，直接供应位置的右侧和左侧。请
安装磁性平台，并且使得千分表移动到这些位置也不会与模组或其他单元等相撞。
01NST-2002