多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第13页
INS-NXTMWU-4.2S 目录 多功能晶圆单元使用说明书 vii 11. 更换损耗品 .............. ................ 293 11.1 关于损耗品 ............ ............... 293 11.2 更换伺服放大器电池 .... ............... 293 11.2.1 更换周期 ............................... 293 11.2.2…
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vi 多功能晶圆单元使用说明书
10.2.2 维修保养人员进行的作业 ................. 251
10.3 每天 （24 小时以内）的作业 ............. 253
10.3.1 清扫多功能晶圆单元用废料带箱
（每 8 个小时）........................... 253
10.3.2 清扫元件排出箱 （每 24 个小时）.......... 253
10.4 每周 （160 小时）的作业 ................ 255
10.4.1 清扫供料器料槽和接插件 ................. 255
10.5 每 2 周 （320 小时）的作业 .............. 256
10.5.1 清扫防静电装置 ......................... 256
10.6 每月 （700 小时）的作业 ................ 257
10.6.1 往复臂皮带的清扫和加油 ................. 257
10.6.2 更换晶片往复臂的吸嘴真空过滤器 ......... 258
10.6.3 更换 PP 单元的真空过滤器 ................ 259
10.6.4 清扫 PP 单元的吸嘴吸取面 ................ 259
10.6.5 清扫 PP 相机的盖罩玻璃 .................. 260
10.6.6 更换顶起单元的真空过滤器 ............... 261
10.6.7 顶起单元的 EZ 轴滚珠丝杆的加油 ......... 262
10.6.8 更换翻转单元的吸嘴过滤器 ............... 263
10.7 每 3 个月 （2000 小时）的作业 ........... 265
10.7.1 PP 单元的吸嘴夹紧销的更换 .............. 265
10.8 每 6 个月 （4000 小时）的作业 ........... 266
10.8.1 更换大中尺寸晶片用顶起筒的凸缘 ......... 266
10.9 每年 （8000 小时）的作业 ............... 268
10.9.1 PP 相机的半透半反光镜的清扫 ............ 268
10.9.2 更换防静电装置 ......................... 269
10.10 每 12000 小时的作业 ................... 270
10.10.1 驱动部的加油 .......................... 270
10.10.2 皮带张力的点检和调整 .................. 278
10.11 不定期作业 ........................... 285
10.11.1 清扫 PP 单元的吸嘴 ..................... 285
10.11.2 清扫晶片往复臂的吸嘴 .................. 286
10.11.3 清扫翻转单元的吸嘴 .................... 288
10.11.4 向升降部齿轮加油 ...................... 290
10.11.5 清扫防静电装置 ........................ 291
INS-NXTMWU-4.2S 目录
多功能晶圆单元使用说明书 vii
11. 更换损耗品.............................. 293
11.1 关于损耗品 ........................... 293
11.2 更换伺服放大器电池 ................... 293
11.2.1 更换周期 ............................... 293
11.2.2 必要工具 ............................... 293
11.2.3 更换方法 ............................... 293
11.3 更换 CPU 箱电池 ....................... 297
11.3.1 电池的种类 ............................. 297
11.3.2 更换周期 ............................... 297
11.3.3 必要的物品 ............................. 297
11.3.4 准备作业 ............................... 297
11.3.5 更换方法 ............................... 298
11.3.6 登录固有值 ............................. 300
11.4 更换控制电路板熔丝 ................... 301
11.4.1 必要工具 ............................... 301
11.4.2 更换方法 ............................... 301
11.5 更换托架电路板熔丝 ................... 303
11.5.1 必要工具 ............................... 303
11.5.2 更换方法 ............................... 303
11.6 更换远程控制 I/O 电路板熔丝 ........... 304
11.6.1 必要工具 ............................... 304
11.6.2 更换方法 ............................... 304
11.7 更换真空泵损耗部件 ................... 306
11.7.1 更换周期 ............................... 306
11.7.2 准备物品 ............................... 306
11.7.3 更换方法 ............................... 307
12. 更换部件............................... 311
12.1 拆下盖罩 ............................. 311
12.1.1 盖罩构成部件 ........................... 311
12.1.2 必要工具 ............................... 312
12.1.3 拆下方法 ............................... 312
12.2 更换 CPU 箱 ........................... 319
12.2.1 必要的物品 ............................. 319
