多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第82页
4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S 68 多功能晶圆单元使用说明书 13.确认紧急停止按钮被按下了。使用 2mm 宽度 的六角扳手转动 EZ 轴滚珠丝杆，将顶起 Z 轴部下降到下降端。 14.从模组上拆下千分表、 磁性平台和工作头夹紧治具。 15.从多功能晶圆单元上拆下顶起调整治具。 16.暂时将基座的主电源开关设置为 OFF，然后重 新设置为 ON。此次 设定的数值变成有效。 01NST -2013
INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装
多功能晶圆单元使用说明书 67
a. 用手移动 NXT-2 的 XY 轴，将千分表靠住晶片往复臂 6 位置的吸嘴上面。
注意 )用手移动 XY 轴时，请握住框架部。请不要握住工作头夹紧治具进行移动。
b. 读取千分表的数值。
备注 )晶片往复臂吸嘴高度大于 Z0 （刻度 0）时为正值，小于 Z0 时为负值。
c. 将千分表的读取值输入到 [Die shuttle 6] 的 [Value(mm)] 中，点击 [Setting] 指
令。数值被反映到 [Now value(mm)] 中。
10.使用与步骤 9 相同的方法，进行晶片往复臂 7 的位置的吸取高度修正测定。
11.输入了所有的测定值后，点击 [MENU] 按钮。切换到 MENU 画面。
12.点击 [Exit] 按钮。MWU 调整工具关闭。
01NST-2011E
01NST-2012E
4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S
68 多功能晶圆单元使用说明书
13.确认紧急停止按钮被按下了。使用 2mm 宽度的六角扳手转动 EZ 轴滚珠丝杆，将顶起 Z
轴部下降到下降端。
14.从模组上拆下千分表、磁性平台和工作头夹紧治具。
15.从多功能晶圆单元上拆下顶起调整治具。
16.暂时将基座的主电源开关设置为 OFF，然后重新设置为 ON。此次设定的数值变成有效。
01NST-2013
INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装
多功能晶圆单元使用说明书 69
4.5.5 备份固有值
进行了吸取高度修正测定后，吸取高度修正值和 [InspectionTool.ini] 文件就会被变更。
请备份包含了吸取高度修正值的固有值和 [InspectionTool.ini] 文件。
备注 )[InspectionTool.ini] 的备份数据在下次的吸取修正测定时使用。固有值在更换 CPU
箱电池和 CPU 箱时使用。
1. 取得 [InspectionTool.ini] 文件的备份。请复制 [MWU Adjustment Tool] 的文件夹内的
[InspectionTool.ini] 文件，粘贴到备份数据的保存场所。
2. 取得固有值的备份。请打开 [MWU.exe]。显示 MENU 画面。
3. 在 [Connect IP Address] 中输入要安装多功能晶圆单元的基座的 IP 地址，确认
[M1(P)] 中选择了复选框。
4. 点击 [Connection check] 指令，确认显示了 [OK]。
5. 点击 [ETC] 指令。显示 ETC 画面。
6. 点击固有值 Backup 的 [Start] 指令。
01NST-2042E
01NST-2043E