多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第60页
4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S 46 多功能晶圆单元使用说明书 3. 在多功能晶圆单元的塔基座部的左右各设 置 Y 方向的水平仪。 01NST -1975
INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装
多功能晶圆单元使用说明书 45
2. 将顶起调整治具的上面对准 Z0 高度。
a. 请清扫 Z0 高度治具和下图的治具设置场所。并且将 Z0 高度治具放置在模组内的设
置场所。
注意 )请注意 Z0 高度治具不要落入模组的孔内。另外，在设置了 Z0 高度治具的状态下，请
不要将顶起单元移动到直接供应位置。
b. 用手移动 NXT-2 的 XY 轴，将千分表靠住 Z0 高度治具的高的一面，将刻度调整为 0。
注意 )用手移动 XY 轴时，请握住框架部。请不要握住工作头夹紧治具进行移动。
c. 用手移动 NXT-2 的 XY 轴，拆下 Z0 高度治具。
d. 将顶起单元移动到直接供应位置。然后，将顶起 X 轴部移动到顶起调整治具的中心
与导轨面的距离为 27mm ～ 30mm 的位置。
注意 )Y 方向移动顶起单元时，首先将顶起 X 轴部移动到中央，然后 Y 方向移动顶起单元。在
顶起 X 轴部处在左右端的状态下，Y 方向移动顶起单元时，单元的一部分有可能碰到壁
面。
e. 用手移动 NXT-2 的 XY 轴，将千分表靠住顶起调整治具的上面。
f. 使用 2mm 宽度的六角扳手转动 EZ 轴滚珠丝杆，将顶起调整治具的上面调整到 Z0 高
度（千分表的0位置）。
注意 )转动 EZ 轴滚珠丝杆时，请不要过分用力慢慢地转动。另外，在调整了顶起调整治具高
度后，请不要接触顶起 Z 轴部。高度有可能改变。如果高度改变了，请再次调整到 Z0
高度。
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4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S
46 多功能晶圆单元使用说明书
3. 在多功能晶圆单元的塔基座部的左右各设置 Y 方向的水平仪。
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INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装
多功能晶圆单元使用说明书 47
进行多功能晶圆单元的高度和倾斜调整
1. 取得塔基座部的 Y 方向的水平。
备注 )以下虽然是按照左侧、右侧的顺序的作业，但是，可以从左右的任意一处开始调整。
a. 将顶起 X 轴部移动到直接供应位置左侧。左右方向的测定位置是顶起调整治具的中
心与导轨面的距离为 27mm ～ 30mm 的位置。
注意 )Y 方向移动顶起单元时，首先将顶起 X 轴部移动到中央，然后 Y 方向移动顶起单元。另
外，移动顶起单元时，请不要接触顶起 Z 轴部。
b. 用手移动 NXT-2 的 XY 轴，将千分表靠住顶起调整治具的上面。
注意 )用手移动 XY 轴时，请握住框架部。请不要握住工作头夹紧治具进行移动。
c. 一边看着左侧的水平仪，一边转动左侧的前侧脚轮和中间脚轮的调整螺栓，将 Y 方
向的水平调整到以下的公差范围内。此时，千分表的数值请参考以下的公差值。
·Y 方向的水平仪的公差值必须在 ±0.1mm/m 以内。
·千分表的数值必须在 Z0Z0 高度的 ±0.2mm 以内。
d. 对于右侧，也使用同样的方法取得水平。并且，确认 4 个脚轮全部着地。
e. 再次确认左侧的水平仪和千分表的数值。反复这些调整，使得左右的水平仪的数值
在公差值内。
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