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INS-NXTMWU-4.2S 10. 预防保养 多功能晶圆单元使用说明书 247 10. 预防保养 10.1 关于预防保养 预防保养作业包括点检、 清扫和加油等。 是防止机器的运转不正常， 达到设计 性能所不可缺 少的作业。请遵照这里所记载的 要领严格执行。 ·这里所记载的作业内容基本上是维修保养人员的作业内容，但是，也同时记载了 操作人员必须执行的作业内容。 10.1.1 关于作业周期 存在着机器在运转了 1 天 （24 小时） 、…
9. 多功能晶圆单元的卸下和安装 INS-NXTMWU-4.2S
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MEMO:
INS-NXTMWU-4.2S 10. 预防保养
多功能晶圆单元使用说明书 247
10. 预防保养
10.1 关于预防保养
预防保养作业包括点检、清扫和加油等。是防止机器的运转不正常，达到设计性能所不可缺
少的作业。请遵照这里所记载的要领严格执行。
·这里所记载的作业内容基本上是维修保养人员的作业内容，但是，也同时记载了
操作人员必须执行的作业内容。
10.1.1 关于作业周期
存在着机器在运转了 1 天 （24 小时）、1 周 （160 小时）、1 个月 （700 小时）、3 个月
（2,000 小时）、6 个月 （4,000 小时）、1 年 （8,000 小时）以及 12,000 小时左右后的定期
作业，伴随特定的机器操作而进行的作业和故障发生时所进行的作业。（参照 "10.2 作业列
表 "。）另外，手册中记载的维修保养周期是参考周期。根据机器的使用环境和使用情况，
作业周期有可能缩短。
10.1.2 作业时的注意事项
a. 在多功能晶圆单元内部，不容许进行喷射压缩空气的作业。细小的元件或异物有可
能进入机器内部，影响正常运转。
b. 从模组上卸下了多功能晶圆单元后，请按照以下进行安装作业。
·将卸下的多功能晶圆单元重新安装到模组上时，请参照 "9.2 安装方法 "。
·将卸下的多功能晶圆单元安装到其他的模组上时，请参照 "4.4 调整多功能晶圆单
元的高度和倾斜 "。
10.1.3 准备物品
治具 FUJI 润滑油枪套件 AWPJ8201 用于向润滑油嘴加油
工具 六角扳手 1 套 -
一字螺丝刀 -
十字螺丝刀 -
润滑脂 Daphne Eponex No.2 ( 出光 ) -
Mobilith SHC460WT （Mobil） -
NS7 （NSK）或者 Multemp SRL （协同油脂） -
Gluebar A20 （NOK） -
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其他 吸尘器 -
布 柔软干净的布
棉棒 -
刷子 -
工业用酒精 清扫用
张力计 皮带点检用