多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第75页
INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装 多功能晶圆单元使用说明书 61 10.在工作头夹紧治具 上安装千分表。 注意 )用手移动 XY 轴时，请握住框架部。请不要握住工作头夹紧治具进行移动。 a. 将安装了千分表的磁性平台安装到工作头 夹紧治具上。 b. 安装磁性平台，并且使得千分表不会碰到 直接供应位置的顶起调整治具上面 、交接 位置的晶片往复臂的吸嘴上面和步 骤 11 的 Z0 高度治具位置的所有位置。 备注 )请安装磁性平台，…
4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S
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8. 用手将晶片往复臂单元移动到交接位置。
9. 使用与贴装工作头相同的方法，将工作头夹紧治具安装到模组的工作头支架上。另外，
不要进行接插件的连接。（详细内容请参照[NXT II系统手册]的[基本操作]。）
01NST-2004S
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4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S
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11.在 Z0 高度治具的上面安装千分表，将刻度调整到 0。
a. 请清扫 Z0 高度治具和下图的治具设置场所。并且将 Z0 高度治具放置在模组内的设
置场所。
注意 )请注意 Z0 高度治具不要落入模组的孔内。另外，在设置了 Z0 高度治具的状态下，请
不要将顶起单元移动到直接供应位置。
b. 用手移动 NXT-2 的 XY 轴，将千分表靠住 Z0 高度治具的高的一面，将刻度调整为 0。
注意 )用手移动 XY 轴时，请握住框架部。请不要握住工作头夹紧治具进行移动。
c. 用手移动 NXT-2 的 XY 轴，拆下 Z0 高度治具。
12.用手将 NXT-2的Y轴移动到内侧位置，并且使得直接供应位置的顶起调整治具在X轴方
向移动也不会碰到千分表。（以后，将该位置称为退避位置。）
注意 )用手移动 XY 轴时，请握住框架部。请不要握住工作头夹紧治具进行移动。
13.关闭侧面盖罩，解除紧急停止按钮。
进行吸取高度修正测定
1. 开始测定之前，请确认以下事项。
a. 顶起单元从往复臂供应位置移动到直接供应位置，顶起 X 轴部移动到左右，顶起 Z
轴部移动到上下。确认在顶起单元的可动范围内没有千分表或治具等。
b. 确认顶起调整治具中心离开侧面的导轨面 30mm 以上。
c. 确认盖罩和门已经关闭，紧急停止按钮被解除了。
01NST-1973