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4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S 30 多功能晶圆单元使用说明书 4.3.2 作业步骤 1. 请将基座的主电源开关设置到 OFF。 2. 请拆下供料器安装部的盖罩。 3. 拆下安装螺丝，拆下现有的废料带输送槽 。 多功能晶圆单元用 废料带箱 名称 形状
INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装
多功能晶圆单元使用说明书 29
4.3 变更到对应多功能晶圆的模组
为了使用多功能晶圆单元，需要对应多功能晶圆单元的模组。此处，说明从标准模组变更到
多功能晶圆单元对应模组的方法。
4.3.1 准备物品
开始作业之前，请确认以下的物品已经全部准备好了。
工具
六角扳手一套，十字螺丝刀
单元
名称 形状
多功能晶圆单元用
废料带输送槽
多功能晶圆单元用
废料带滑槽
多功能晶圆单元用
废料带箱座
4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S
30 多功能晶圆单元使用说明书
4.3.2 作业步骤
1. 请将基座的主电源开关设置到 OFF。
2. 请拆下供料器安装部的盖罩。
3. 拆下安装螺丝，拆下现有的废料带输送槽。
多功能晶圆单元用
废料带箱
名称 形状
INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装
多功能晶圆单元使用说明书 31
4. 安装多功能晶圆单元用的废料带输送槽。
5. 拆下元件排出箱。
6. 将元件相机的安装位置变更到模组内右侧。（安装 / 卸下作业的详细步骤请按照 [NXT
II机械手册]的[部品的更换]。）
7. 使用六角扳手拆下双头螺栓 （4 个）。拔下接插件，拆下吸嘴更换器。
8. 将吸嘴更换器安装在多功能晶圆单元用的位置。旋紧双头螺栓 （4 个）。接插件穿过吸
嘴更换器旁边的孔进行连接。