多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第180页

7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S 166 多功能晶圆单元使用说明书 3. 请按下 START 按钮。备注 )在按下 START 按钮之前，按下箭头按钮（上下）能够选择料槽。 4. 显示吸取开始点指定画面。 01NST -1055

INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线

多功能晶圆单元使用说明书 165

7.4 指定吸取开始点（晶圆托架）

在多功能晶圆单元中安装了晶圆托架后，请指定吸嘴最初要吸取的晶片。

备注 )料盘元件补充时的指定吸取开始点是在料盘元件的补充中进行。详细内容请参照"7.11

元件补充（料盘元件的安装）"。

7.4.1 如何显示吸取开始点指定画面

请执行在晶圆托架的安装向导中所显示的吸取开始点指定的指令，或者通过以下的操作来

显示吸取开始点指定画面。

1. 在操作面板处在开始等待的状态的时候，请按下 OK 按钮。

2. 显示换线指令菜单。请选择吸取开始点指定指令。

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7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S

166 多功能晶圆单元使用说明书

3. 请按下 START 按钮。

备注 )在按下 START 按钮之前，按下箭头按钮（上下）能够选择料槽。

4. 显示吸取开始点指定画面。

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INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线

多功能晶圆单元使用说明书 167

7.4.2 指定吸取开始点

1. 请使用上下左右的滚动按钮来移动图表影像，指定吸取开始点。

2. 请使用实时影像的滚动按钮进行微调整，使得开始吸取的晶片处在中央。

3. 请对照生产，选择吸取方向。

4. 请按下 NEXT 按钮。

备注 )如果按下 Back 按钮，则返回到吸取开始点指定画面。

5. 如果需要指定其他料槽的吸取开始点，请重复之前各项的操作。

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