多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第215页
INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线 多功能晶圆单元使用说明书 201 2. 请打开侧面盖罩。 3. 转动控制杆解除锁定，从顶起单元中卸下 相应的顶起筒。 4. 松开螺母，拆下筒。 1676 ջ䴶Ⲫ㔽䮼 01NST -0747Sa 乊䍋ऩܗ 乊䍋 ㄦ ࠊᴚ ㄦ 㶎↡ 1676
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7.10 安装顶起销
如果需要安装顶起销，在校正后显示顶起销的安装向导。请根据向导在顶起销单元的筒夹中
安装顶起销。
7.10.1 顶起销安装向导画面
7.10.2 顶起销的安装步骤
1. 请按下操作面板的 OK 按钮。
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多功能晶圆单元使用说明书 201
2. 请打开侧面盖罩。
3. 转动控制杆解除锁定，从顶起单元中卸下相应的顶起筒。
4. 松开螺母，拆下筒。
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5. 松开螺母。拆下筒夹。
6. 将顶起销安装到筒夹中。
a. 将筒夹的定位销处于水平，并且安装到顶起销安装治具上。
b. 将筒夹靠住治具，转动螺丝固定筒夹。
备注 )如果没有靠住治具转动螺丝，筒夹就会在翘起的状态下被固定。
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