多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第327页
INS-NXTMWU-4.2S 12. 更换部件 多功能晶圆单元使用说明书 313 3. 请拆下螺丝，拆下背面盖罩。 备注 ) 如果是没有右侧维修保养门的背面盖罩，通过 8 个螺丝被固定。 01NST -0730c
12. 更换部件 INS-NXTMWU-4.2S
312 多功能晶圆单元使用说明书
12.1.2 必要工具
十字螺丝刀、六角扳手一套
12.1.3 拆下方法
背面盖罩
1. 请打开背面盖罩左右的维修保养门。
备注 )如果是没有右侧维修保养门的背面盖罩，只要打开左侧维修保养门。
2. 从左侧维修保养门内的防静电装置的嘴上拔下空气管。
警告
拆下和安装多晶圆单元盖罩时，请务必将多晶圆单元从机器上拆下然后进
行。
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INS-NXTMWU-4.2S 12. 更换部件
多功能晶圆单元使用说明书 313
3. 请拆下螺丝，拆下背面盖罩。
备注 ) 如果是没有右侧维修保养门的背面盖罩，通过 8 个螺丝被固定。
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12. 更换部件 INS-NXTMWU-4.2S
314 多功能晶圆单元使用说明书
正面盖罩 （下方）
1. 请打开抽屉。
2. 请拆下螺丝。
正面盖罩 （中央）
1. 请拆下正面盖罩 （下方）。（详细请参照 [ 正面盖罩 （下方）]。）
2. 请打开正面门。
3. 拆下螺丝，拆下间隙盖罩。
4. 拆下螺丝，拉出正面盖罩。
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