多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第117页
INS-NXTMWU-4.2S 5. Job 的设定和编辑 多功能晶圆单元使用说明书 103 6. 请按下 NEXT 按钮。多功能晶圆单元按照被编辑的 数据开始吸取测试。 备注 )根据运转模式，吸取动作有所不同。 7. 显示吸取测试的结果。请确认吸取状态 。 a. 直接供应模式时 备注 )多功能晶圆单元侧的监视器没有结果的显示。 b. 往复臂供应模式时 直接供应模式 使用 NXT 侧相机对吸取的晶片进行影像处理。 其结果显 示在 NXT…
5. Job 的设定和编辑 INS-NXTMWU-4.2S
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4. 请按下 START 按钮。多功能晶圆单元以被变更的数据值开始吸取动作。
备注 )如果对象料槽的吸取开始点没有被指定，机器进行异常停止。
5. 显示晶片位置对准画面。请指定进行吸取测试的晶片。
a. 在影像图表中，选择进行吸取测试的晶片。
b. 按下滚动按钮，使十字线 （相机中心）对准晶片的中心。
备注 )按下 CANCEL 按钮就会返回到料槽选择画面。按下 BACK 按钮，则返回到前项的画面。
Offset Z (-2.00 ～ 2.00) 设定 PP 工作头的晶片吸取时的 Z 方向修正值
(单位mm)
(*) 设定了 Offset X、Y、Z 后，对照吸取位置的修正，顶起销的顶起位置也进行修
正。
[Collet]
设定顶起销被安装的 4 个筒夹的类型。
(*) 所选择的筒夹类型以蓝色被翻转显示。
项目名 值 说明
BACK NEXTCANCEL
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6. 请按下 NEXT 按钮。多功能晶圆单元按照被编辑的数据开始吸取测试。
备注 )根据运转模式，吸取动作有所不同。
7. 显示吸取测试的结果。请确认吸取状态。
a. 直接供应模式时
备注 )多功能晶圆单元侧的监视器没有结果的显示。
b. 往复臂供应模式时
直接供应模式 使用 NXT 侧相机对吸取的晶片进行影像处理。其结果显
示在 NXT 操作画面上。
使用 NXT 侧相机对吸取晶片的痕迹进行影像处理。其结
果显示在 NXT 操作画面上。
往复臂供应模式 使用 NXT 侧相机对吸取的晶片进行影像处理。其结果显
示在 NXT 操作画面上。
使用 PP 单元的相机对吸取晶片的痕迹进行影像处理。其
结果显示在 MWU 操作画面上。
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8. 按下 NEXT 按钮就会返回到 4. 项的吸取数据编辑画面。请对照吸取的状态编辑数据。
保存编辑数据
1. 请按下结束按钮。编辑数据被反映给 MEdit。
备注 )在结束数据编辑之前，如果错误地按下了结束按钮，请再次启动偰 MEdit，重复操作。
2. 从文件菜单中选择 [Save Job]。
备注 )在没有进行该操作的情况下执行其他的测试指令或者结束MEdit，就会显示以下的确认
信息。如果要保存 Job，请按下 [Yes]。
至此，完成吸取测试。
01NST-1644E
01NST-1646E
01NST-1647E