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3. 传感器配置图 I NS-NXTMWU-4.2S 24 多功能晶圆单元使用说明书 MEMO:
INS-NXTMWU-4.2S 3. 传感器配置图
多功能晶圆单元使用说明书 23
输入信号
输出信号
图中号码 地址 信号名
1 NX00D 不良元件排出许可确认 （中央）
2 NX00E 不良元件排出许可确认 （侧面）
3 NX00F 不良元件排出搬运轨道送出计数
图中号码 地址 信号名
4 NY000 不良元件排出搬运轨道送出指示
3. 传感器配置图
I
NS-NXTMWU-4.2S
24 多功能晶圆单元使用说明书
MEMO:
INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装
多功能晶圆单元使用说明书 25
4. 安装
在新安装或移动安装多功能晶圆单元时，请进行以下的安装作业。
4.1 拆下固定支架
请拆下安装在多功能晶圆单元的固定支架 （红色）。
备注 )移动安装多功能晶圆单元时，请参照以下，安装固定支架。
a. 固定多功能晶圆单元本体的支架。
b. 固定 PP 单元的 X 轴的支架。
c. 固定 PP 吸嘴更换器的支架。
d. 固定晶片往复臂的支架。
e. 固定托架往复臂的支架。
f. 固定顶起单元的支架。
g. 固定翻转单元的支架。
h. 保护托架往复前端的支架 （2 个）。
请保管好拆下的支架和螺栓。重新移动设备时使用。
1. 拆下多功能晶圆单元的固定支架
2. 安装主电源开关 ON/OFF 单元
3. 变更到对应多功能晶圆单元的模组
4. 调整多功能晶圆单元的高度和倾斜