多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第231页

INS-NXTMWU-4.2S 8. 手动模式指令 多功能晶圆单元使用说明书 217 8. 手动模式指令 手动模式指令是维修保养作业者 在进行维修保养或其他的特别作业 时使用的指令。 8.1 从菜单画面上选择指令项目 在 START 等待画面上按下 MANUA L 按钮, 切换到手动模式画面。 按下 CANCEL 按钮后, 就会返 回到 START 等待画面。 8.1.1 指令菜单画面 备注 )背景为深灰色的菜单是不能选择的菜单。 执行…

100%1 / 337
7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S
216 多功能晶圆单元使用说明书
MEMO:
INS-NXTMWU-4.2S 8. 手动模式指令
多功能晶圆单元使用说明书 217
8. 手动模式指令
手动模式指令是维修保养作业者在进行维修保养或其他的特别作业时使用的指令。
8.1 从菜单画面上选择指令项目
START 等待画面上按下 MANUAL 按钮,切换到手动模式画面。按下 CANCEL 按钮后,就会返
回到 START 等待画面。
8.1.1 指令菜单画面
备注 )背景为深灰色的菜单是不能选择的菜单。
执行指令的时候,请按下菜单图标。移动到各自的指令画面。
01NST-1368
MANUAL
CANCEL
01NST-1369S
CANCEL
8. 手动模式指令 INS-NXTMWU-4.2S
218 多功能晶圆单元使用说明书
8.2 单元更换指令
在更换被安装在 PP 工作头上的吸嘴时使用。执行该指令后,就会显示吸嘴更换画面
8.2.1 如何显示吸嘴更换画面
1. START 等待状态下按下 MANUAL 按钮,显示手动指令。
2. 请按下单元更换图标。
3. 显示吸嘴更换菜单。
备注 )选择 CANCEL 图标后,就会返回到菜单画面。
01NST-1370
01NST-1371S
CANCEL