多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第228页
7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S 214 多功能晶圆单元使用说明书 4. 将吸嘴置放台安装到多功能晶圆单元中。 放下控制杆然后安装吸嘴置放台。 5. 请关闭侧面的盖罩。 注意 在放入吸嘴置放台的时候，请注意 不要夹着手指。
INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线
多功能晶圆单元使用说明书 213
7.12.2 吸嘴的安装步骤
1. 请打开侧面的盖罩。
2. 拆下吸嘴置放台。放下控制杆提起吸嘴置放台。
3. 请滑动平板，安装所需的吸嘴。
7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S
214 多功能晶圆单元使用说明书
4. 将吸嘴置放台安装到多功能晶圆单元中。放下控制杆然后安装吸嘴置放台。
5. 请关闭侧面的盖罩。
注意
在放入吸嘴置放台的时候，请注意不要夹着手指。
