多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第254页
8. 手动模式指令 INS-NXTMWU-4.2S 240 多功能晶圆单元使用说明书 MEMO:
INS-NXTMWU-4.2S 8. 手动模式指令
多功能晶圆单元使用说明书 239
7. 按下 X Cut Width 按钮或 Y Cut Width 按钮后，就会显示数字键盘。请在数字键盘上输
入宽度，按下 Enter 按钮。
备注 )所输入的数值如果是无效，在数字键盘输入栏内显示 [0]。
8. 请确认 X Cut Width 或 Y Cut Width 的数值是否被更新了。
9. 请按下 COMPLETE 按钮。数据被更新，并返回到项的画面。
备注 )按下 CANCEL 按钮后，所变更的数据就会被取消。
保存编辑数据
请将测定的数值反映给 Job。
另外，启动 MEdit也能够进行切割宽度设定。详细内容请参照 "5.6 通过 MEdit 的 Job 编辑 "。
COMPLETECANCEL
01NST-1641E
8. 手动模式指令 INS-NXTMWU-4.2S
240 多功能晶圆单元使用说明书
MEMO:
INS-NXTMWU-4.2S 9. 多功能晶圆单元的卸下和安装
多功能晶圆单元使用说明书 241
9. 多功能晶圆单元的卸下和安装
注意
在内部搭载了晶圆或料盘的状态下，请不要移动多功能晶圆单元，或者，
将多功能晶圆单元安装到模组中或从模组中卸下。元件有可能发生移位或
从料盘中跳出。
将多功能晶圆单元安装到模组中或从模组中卸下时，请轻轻地进行不要有
冲击。